第十章扫描电子显微分析和电子探针
扫描电子显微分析和电子探针 第十章 S D U T
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本章内容(SEM)扫描电子显微镜电子探针X射线显微分析（EPA)
扫描电子显微镜（SEM） 电子探针X射线显微分析(EPA) 本章内容 S D U T
(SEM)扫描电子显微镜1938年第一台SEM问世：1965年第一台商用SEM问世：SEM能弥补透射电镜样品制备要求很高的缺点景深大；放大倍数连续调节范围大；分辨本领比较高
◆ 1938年第一台SEM问世; ◆ 1965年第一台商用SEM问世; ◆ SEM能弥补透射电镜样品制备要求很高的缺点; ◆ 景深大; ◆ 放大倍数连续调节范围大; ◆ 分辨本领比较高。 扫描电子显微镜（SEM） S D U T
(SEM)扫描电子显微镜1)成像物理信号2)构造1.工作原理与构造3)SEM主要性能2.像衬原理3.应用
扫描电子显微镜（SEM） 1.工作原理与构造 2.像衬原理 ★ 3.应用 1） 成像物理信号 2） 构造 3） SEM主要性能 S D U T