Generated by Foxit PDF Creator Foxit Soft ttp//www.foxitsoftware.comForevaluation DRAM单元结构发展 存储结点 衬底极板 电容极板 加埋置电容 晶体管在 字线 衬底极板 BEST 电容上方(TOC 沟槽电容(TRC) 隔离的沟槽电容 3D品体管 平面电容 叠置的沟槽电容 "巴 叠置电容(STC 羽翼形电容 王冠形电容 高K介质BST
11 DRAM单元结构发展 Generated by Foxit PDF Creator © Foxit Software http://www.foxitsoftware.com For evaluation only
Generated by Foxit PDF Creator Foxit Software ttp//www.foxitsoftware.comForevaluationonly MOS存储器单元 DRAM单元 SRAM单元 ROM单元
12 MOS存储器单元 DRAM单元 SRAM单元 ROM单元 Generated by Foxit PDF Creator © Foxit Software http://www.foxitsoftware.com For evaluation only
Generated by Foxit PDF Creator Foxit Soft ttp//www.foxitsoftware.comForevaluation SRAM单元结构和工作原理 ■高阻多晶硅电阻负载的单元 WL DD BL BL RI M3 MI M2 问題:功耗与可靠性的矛盾 13
13 SRAM单元结构和工作原理 高阻多晶硅电阻负载的单元 13 问题：功耗与可靠性的矛盾 Generated by Foxit PDF Creator © Foxit Software http://www.foxitsoftware.com For evaluation only
Generated by Foxit PDF Creator Foxit Software ttp//www.foxitsoftware.comForevaluationonly CM0S单元电路 ■解决电阻负载单元中功 耗和可靠性的矛盾 BL B■优势: M3b rMa ■只有泄漏电流引起的静 态功耗 M2 保证单元存储信息可靠
14 解决电阻负载单元中功 耗和可靠性的矛盾 优势： 只有泄漏电流引起的静 态功耗 保证单元存储信息可靠 14 CMOS单元电路 Generated by Foxit PDF Creator © Foxit Software http://www.foxitsoftware.com For evaluation only