真空的连接与设计 名词 意义 公式 气体量 气体的压力与其体积的乘积 $=V Q=必 流量 单位时间内通过某一截面的气体量 Q=U(p1-p2) Q=pS 在稳定流动状态下，单位时间内流过真空系 流量连续方程 Q=P1S1=P2S2=. 统任一截面的气体量（流量）相等 =PS 气体通过管道时产生的阻力称为流阻，即管 流阻 路两端的压力差与通过管路的流量之比 W=1-2 Q 流导 真空管道、孔及挡板、阱、阀门等元件传输气 1 体的能力。与流阻是倒数关系 体积流量：单位时间内气体流过抽气系统中任何截面的体积称 为体积流量，单位为升/秒，与气体密度无关
真空的连接与设计 体积流量：单位时间内气体流过抽气系统中任何截面的体积称 为体积流量，单位为升/秒，与气体密度无关 名 词
气体流动形态：与压强、温度、气体种类相关 湍流：当气体压强和流速都比较高时，流动呈现不稳定状态，宏 观流速矢量有径向分量.气体流动受到较大的阻力，通常称这种 流动状态为湍流或者旁流。Qoc√d中d元 粘滞流：低真空管道中，随气体压强和流速的逐渐降低，流动由 具有不同流动速度的各个流动层组成。宏观流速矢量与管轴平行， 流动与气体的粘滞性有关。 Qp盟 分子流：压强低时，气体分子的平均自由程增大，分子间的相互 碰撞减少，分子与管壁的碰撞占主要地位，分于间的内摩擦消失， 气体分子以热运动而自由地独立地直线前进，这种流动被称为分 子流。 黏滞-分子流
气体流动形态：与压强、温度、气体种类相关 湍流：当气体压强和流速都比较高时，流动呈现不稳定状态，宏 观流速矢量有径向分量．气体流动受到较大的阻力，通常称这种 流动状态为湍流或者旁流。 粘滞流：低真空管道中，随气体压强和流速的逐渐降低，流动由 具有不同流动速度的各个流动层组成．宏观流速矢量与管轴平行， 流动与气体的粘滞性有关。 分子流：压强低时，气体分子的平均自由程增大，分子间的相互 碰撞减少，分子与管壁的碰撞占主要地位，分于间的内摩擦消失， 气体分子以热运动而自由地独立地直线前进，这种流动被称为分 子流。 黏滞-分子流
湍流 Q ocv dp/dx dp dx 粘滞流
湍 流 粘滞流
10 (6) VISCOUS 10 TRANSITION 10 102 MOLECULAR 10 10 1071051051010310210110102103 PRESSURE (Torr Dominant gas flow regimes as a function of system dimensions and pressure