第三章真空技术 Vacuum:(Vebster词典) a:a space absolutely devoid of matter;b:a space partially exhausted (as to the highest degree possible by artificial means (as an air pump);c:a degree of rarefaction below atmospheric pressure 卡西米尔效应 (Casimir effect) 平行金属板 真空涨落
第三章 真空技术 Vacuum: (Webster词典) a: a space absolutely devoid of matter；b: a space partially exhausted (as to the highest degree possible) by artificial means (as an air pump)；c: a degree of rarefaction below atmospheric pressure 卡西米尔效应 (Casimir effect)
Torricelli(1608-1647),证实空气压力的存在； Pascal(1623-1662),证实空气压力与高度相关； Guericke(1602-1686),发明了活塞式真空泵； Boyle(1627-1691),改进了真空泵。 An Experiment on a Bird in the air Pump (Joseph Wright of Derby. 1768)描述了Robert Boyle在1660做的一个实验
Tor ri celli (1608-1647)，证实空气压力的存在； Pascal (1623-1662) ，证实空气压力与高度相关； Gue ri cke (160 2-168 6)，发明了活塞式真空泵； Boyle (1627-1691)，改进了真空泵。 An Experiment on a Bird in the Air Pump (Joseph Wright of Derby, 1768) 描述了Robert Boyle 在1660做的一个实验
Torricelli(1608-1647),证实空气压力的存在： Pascal(1623-1662),证实空气压力与高度相关； Guericke(1602-1686),发明了活塞式真空泵； Boyle(1627-1691),改进了真空泵。 An Experiment on a Bird in the Air Pump
An Experiment on a Bird in the Air Pump Tor ri celli (1608-1647)，证实空气压力的存在； Pascal (1623-1662) ，证实空气压力与高度相关； Gue ri cke (160 2-168 6)，发明了活塞式真空泵； Boyle (1627-1691)，改进了真空泵
应用： 薄膜生长（分子束外延，蒸发，溅射，化学 气相沉积，…) 薄膜表征（扫描电镜，透射电镜，光电子能 谱，扫描隧道显微镜，…)
应用： 薄膜生长（分子束外延，蒸发，溅射，化学 气相沉积，…） 薄膜表征（扫描电镜，透射电镜，光电子能 谱，扫描隧道显微镜，……）
P=nkT 3/2 f(v)= 1 dN 二4T m my2 N dv 2πkT v"exp 2kgT 1/2 m my2 n dv 2πkgT exp
( ) 3/2 2 1 2 4 exp 2 2 B B dN m mv f v N d k T k T = = − P = nkT ( ) 1/2 2 1 exp 2 2 x x x x B B dn m mv f n d k T k T = = −