第二十二章透射电子显微分析
第二十二章 透射电子显微分析
电子显微分析方法的种类 ▣ 透射电子显微镜(TEM)可简称透射电镜 扫描电子显微镜(SEM)可简称扫描电镜 电子探针X射线显微分析仪简称电子探针EPA或EPMA):波谱 仪（波长色散谱仪，WDS)与能谱仪（能量色散谱仪，EDS) 电子激发俄歇电子能谱XAES或AES)
电子显微分析方法的种类 透射电子显微镜(TEM)可简称透射电镜 扫描电子显微镜(SEM)可简称扫描电镜 电子探针X射线显微分析仪简称电子探针(EPA或EPMA)：波谱 仪(波长色散谱仪，WDS)与能谱仪(能量色散谱仪，EDS) 电子激发俄歇电子能谱(XAES或AES)
TEM的形式 口透射电子显微镜（简称透射电镜，TEM),可以以几种不同的形式 出现，如： 高分辨电镜(HRTEM) ▣ 透射扫描电镜(STEM) ▣ 分析型电镜(AEM)等等。 口入射电子束（照明束）也有两种主要形式： ▣ 平行束：透射电镜成像及衍射 会聚束：扫描透射电镜成像、微分析及微衍射
透射电子显微镜（简称透射电镜，TEM），可以以几种不同的形式 出现，如： 高分辨电镜（HRTEM） 透射扫描电镜（STEM） 分析型电镜（AEM）等等。 入射电子束（照明束）也有两种主要形式： 平行束：透射电镜成像及衍射 会聚束：扫描透射电镜成像、微分析及微衍射。 TEM的形式
第一节透射电子显微镜工作原理及构造 一、工作原理 口成像原理与光学显微镜类似。 口它们的根本不同点在于光学显微镜以可见光作照明束，透射电子显微 镜则以电子为照明束。在光学显微镜中将可见光聚焦成像的是玻璃透 镜，在电子显微镜中相应的为磁透镜。 口由于电子波长极短，同时与物质作用遵从布拉格(Brag哭)方程，产 生衍射现象，使得透射电镜自身在具有高的像分辨本领的同时兼有结 构分析的功能
第一节 透射电子显微镜工作原理及构造 一、工作原理 成像原理与光学显微镜类似。 它们的根本不同点在于光学显微镜以可见光作照明束，透射电子显微 镜则以电子为照明束。在光学显微镜中将可见光聚焦成像的是玻璃透 镜，在电子显微镜中相应的为磁透镜。 由于电子波长极短，同时与物质作用遵从布拉格（Bragg）方程，产 生衍射现象，使得透射电镜自身在具有高的像分辨本领的同时兼有结 构分析的功能
阴假灯丝 阳虽 聚光使 样品 物镜 中同镜 投影镜 荧光屏成 照相底片 图9-2透射电子显微镜光路原理图
图9-2 透射电子显微镜光路原理图