第二十三章扫描电子显微分析与电子探针
第二十三章 扫描电子显微分析与电子探针
第一节扫描电子显微镜工作原理及构造 电子枪灯丝和高压电源 口一、工作原理 扫描发生 大控制 扫撞放大器 光电倍增 接真琴统 阴投射线情 图22-1扫描电子显微镜原理示意图
第一节 扫描电子显微镜工作原理及构造 一、工作原理 图22-1 扫描电子显微镜原理示意图
二、构造与主要性能 口扫描电子显微镜由电子光学系统（镜筒）、偏转系统、信号检测放大系 统、图像显示和记录系统、电源系统和真空系统等部分组成
二、构造与主要性能 扫描电子显微镜由电子光学系统(镜筒)、偏转系统、信号检测放大系 统、图像显示和记录系统、电源系统和真空系统等部分组成
1.电子光学系统 口由电子抢、电磁聚光镜、光栏、样品室等部件组成。 口作用：获得扫描电子束，作为使样品产生各种物理信号的激发源
1．电子光学系统 由电子抢、电磁聚光镜、光栏、样品室等部件组成。 作用：获得扫描电子束，作为使样品产生各种物理信号的激发源
电子枪 籍一最小交义截斑30m 园定光栏 鲸一聚光镜 第二最小交义藏囊3m 团定光栏 第二聚光情 第三最小交又藏魔0.3 上偏转线■ 第三来光 下篇转线圆 末光栏 样品 图22-2电子光学系统示意图
图22-2 电子光学系统示意图