电阻蒸发器 外形 潘咏整 毫需 诞,: 返回 图2.7电阻式蒸发装置
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B电子束加热装置 电阻加热方法的局限性:坩埚或其它加热体以及支撑部件可能的污染, 电阻加热法的加热功率或温度也受到一定的限制。因此不适用于高纯或难 容物质的蒸发。而电子束蒸发正好克服了电阻加热方法的上述不足,因而 成为蒸发法髙速沉积髙纯物质薄膜的主要的加热手段。 在电子束加热装置中,被加热的物质被放置在水冷的坩埚中,电子束 只轰击到其中很小的一部分,而其余的大部分在坩埚的冷却作用下仍处于 很低的温度,即它实际上成了蒸发物质的坩埚材料。因此电子束蒸发可以 做到避免坩埚材料的污染。在同一蒸发沉积装置中可以安置多个坩埚,这 使得可以同时或分别对多种不同材料进行蒸发。 如图,由加热的灯丝发射出的电子束受到数千伏的偏置电场的加速, 并经过横向部置的磁场线圈偏转270度后到达被轰击的坩埚处,这样的部 置可以避免灯丝材料对于沉积过程可能造成的污染。 电子束蒸发的缺点是电子束能量的绝大部分被坩埚的水冷系统带走, 因而热效率低。 返回
B 电子束加热装置 电阻加热方法的局限性∶ 坩埚或其它加热体以及支撑部件可能的污染， 电阻加热法的加热功率或温度也受到一定的限制。因此不适用于高纯或难 容物质的蒸发。而电子束蒸发正好克服了电阻加热方法的上述不足，因而 成为蒸发法高速沉积高纯物质薄膜的主要的加热手段。 在电子束加热装置中，被加热的物质被放置在水冷的坩埚中，电子束 只轰击到其中很小的一部分，而其余的大部分在坩埚的冷却作用下仍处于 很低的温度，即它实际上成了蒸发物质的坩埚材料。因此电子束蒸发可以 做到避免坩埚材料的污染。在同一蒸发沉积装置中可以安置多个坩埚，这 使得可以同时或分别对多种不同材料进行蒸发。 如图，由加热的灯丝发射出的电子束受到数千伏的偏置电场的加速， 并经过横向部置的磁场线圈偏转270度后到达被轰击的坩埚处，这样的部 置可以避免灯丝材料对于沉积过程可能造成的污染。 电子束蒸发的缺点是电子束能量的绝大部分被坩埚的水冷系统带走， 因而热效率低。 返回