（镜筒）（1）电子光学系统电子枪作用：将来自电子枪的电子束聚焦成亮度高、直径小的聚光镜显像管入射束（直径一般为10nm或更小）来轰击样品，使样品扫描线圈产生各种物理信号。物镜样品信号放大信号探和处理测器SEM原理方框图
作用：将来自电子枪的电子 束聚焦成亮度高、直径小的 入射束（直径一般为10nm或 更小）来轰击样品，使样品 产生各种物理信号。 (1)电子光学系统（镜筒） S D U T
(2) 扫描系统电子枪组成：扫描发生器和扫描聚光镜显像管线圈。作用：扫描线圈31）入射电子束在样品表面扫描，并使阴极射线显像物镜管电子束在荧光屏上作同样品步扫描;信号放大信号探和处理2②改变扫描像放大倍数。测器SEM原理方框图
组成：扫描发生器和扫描 线圈。 作用： 1)入射电子束在样品表面 扫描，并使阴极射线显像 管电子束在荧光屏上作同 步扫描； 2)改变扫描像放大倍数。 (2) 扫描系统 S D U T
(3)信号收集系统电子枪1）电子信号：电子收聚光镜显像管集器（吸收电子用电流表）。扫描线圈2）特征X射线信号：X射线谱仪检测；物镜（阴极3）可见光信号样品荧光）：可见光收集信号放大信号探和处理器。测器SEM原理方框图
(3) 信号收集系统 1）电子信号：电子收 集器（吸收电子用电 流表）。 2）特征X射线信号：X 射线谱仪检测； 3）可见光信号（阴极 荧光）：可见光收集 器。 S D U T
（4）图像显示和记录系统阴极射线显像管电子枪聚光镜显像管荧光屏扫描线圈照相方式或数字化形式存储物镜样品信号放大信号探和处理测器亮度变化的扫描像SEM原理方框图
(4)图像显示和记录系统 阴极射线显像管 荧光屏 亮度变化的扫描像 照相方式或数字化形式存储 S D U T
(5)真空系统和电源系统扫描电镜的真空系统和电源系统的作用与透射电镜的相同
（5）真空系统和电源系统 扫描电镜的真空系统和电源系统的作用与 透射电镜的相同。 S D U T