10成像物理信号两边同除以i，得：：入射电子束n++a+T=1二次电子G背散射电子背散射系数;n=igip,俄歌电子特征X射线二次电子发射S= i/ip,吸收电子系数;样品吸收系数；α=idip,透射电子T=i/ip,透射系数
两边同除以ip，得: η+δ+a+T=1 η= ib /ip，背散射系数； δ= is/ip，二次电子发射 系数; a = ia /ip，吸收系数； T = it/ip，透射系数。 1）成像物理信号 S D U T
二次电子初次背散射电子多次非弹性散射单次非弹性散射Ag3D(K..u)日蹄儿弹性散射3D3P1a3DK..）伴味AgMNN3PR胶肤俄歇电子1002000eVEoE/ev0~50eV电子能量电子能谱与电磁辐射(X射线）与材料作用产生的光电电子束与材料作用产生的电子能谱子能谱有何区别?
电子束与材料作用产生的电子能谱 与电磁辐射(X 射线)与材料作 用产生的光电 子能谱有何区 别？ 0 ～2000eV S D U T
10成像物理信号X特征X射线入射电子束二次电子背散射电子内层电子激发-俄歌电子特征X射线成分分析吸收电子样品透射电子
※ 特征X射线 ◆ 内层电子激发 ◆ 成分分析 1）成像物理信号 S D U T
1成像物理信号—一小结形貌分析二次电子背散射电子结构分析吸收电子透射电子特征X射线成份分析
二次电子 背散射电子 吸收电子 透射电子 特征X射线 1）成像物理信号——小结 形貌分析 成份分析 结构分析 S D U T
2)SEM的构造电子枪(1)电子光学系统（镜简）高压电源(2)扫描系统会聚镜(3)信号收集系统透镜电源会禁锁光州(4)图像显示记录系统2110e扫推线器一(5)真空系统湾收器十风风扫描发生器物镜(6)电源系统物镜光润相材视频放大器检测器科品室样品3真空系统扫描电镜工作原理示意图
2）SEM的构造 (1) 电子光学系统（镜筒） (2) 扫描系统 (3) 信号收集系统 (4) 图像显示记录系统 (5) 真空系统 (6) 电源系统 12 3 4 S D U T