上游充通大学 透射电镜的工作部分结构 SHANGHAI JIAO TONG UNIVERSITY 电子光学部分(镜筒) 完全置于镜筒之内,自上而下顺序排列着 电子枪、聚光镜、样品室、物镜、中间镜、投影镜、 观察室、荧光屏、照相机构等装置。 这些装置的功能不同,将电子光学部分分为照明系 统、样品室、成像系统及图像观察和记录系统
透射电镜的工作部分结构 电子光学部分(镜筒) 完全置于镜筒之内,自上而下顺序排列着 电子枪、聚光镜、样品室、 物镜、中间镜、投影镜、 观察室、荧光屏、照相机构等装置。 这些装置的功能不同,将电子光学部分分为照明系 统、样品室、成像系统及图像观察和记录系统
上游究通大学 SHANGHAI JIAO TONG UNIVERSITY 电子光学部分内部结构 High tension cable (100-200kV) Filament Accelerating stack condenser aperture Double condenser lens objective aperture Sample sits here Selected area aperture Viewing chamber David Muller 2008
电子光学部分内部结构
上游充通大兽 照明系统示意图 SHANGHAI JIAO TONG UNIVERSITY 阴极(接 负高压) 控制极(比阴极 负100~1000伏) 阳极 电子束 聚光镜← 试样
阴极(接 负高压) 控制极(比阴极 负100~1000伏) 阳极 电子束 聚光镜 试样 照明系统示意图
上游充通大兽 SHANGHAI JIAO TONG UNIVERSITY 照明系统 照明系统由电子枪、聚光镜和相应的平移对中, 倾斜调节装置组成,其作用是提供一束亮度高、 相干性好和束流稳定的照明源。通过聚光镜的控 制可以实现从平行照明到大会聚角的照明条件。 为满足中心暗场成像的需要,照明电子束可在 2°3°范围内倾斜
照明系统 照明系统由电子枪、聚光镜和相应的平移对中, 倾斜调节装置组成,其作用是提供一束亮度高、 相干性好和束流稳定的照明源。通过聚光镜的控 制可以实现从平行照明到大会聚角的照明条件。 为满足中心暗场成像的需要,照明电子束可在 2° ~3°范围内倾斜
上游充通大学 SHANGHAI JIAO TONG UNIVERSITY 光源(电子枪) 电子枪是透射电子显微镜的光 源,要求发射的电子束亮度高 电子束斑的尺寸小,发射稳定 度高。电子枪大致可分为热电 子发射型和场发射型两种类型, 传统透射电子显微镜中使用的是热 电子枪结构示意图 电子发射型的热阴极三极电子枪, 1一阴极2一栅极3一阳极 4一电子束交叉点 它是由阴极、阳极和栅极组成, 见右图
光源(电子枪) 电子枪是透射电子显微镜的光 源,要求发射的电子束亮度高、 电子束斑的尺寸小,发射稳定 度高。电子枪大致可分为热电 子发射型和场发射型两种类型。 传统透射电子显微镜中使用的是热 电子发射型的热阴极三极电子枪, 它是由阴极、阳极和栅极组成, 见右图。 电子枪结构示意图 1-阴极 2-栅极 3-阳极 4-电子束交叉点