实验目的1、了解真空技术的基本知识：2、学握低、高真空的获得和测量的基本原理及方法；3、了解真空镀膜的基本知识；4、学习掌握蒸发镀膜的基本原理和方法
实验目的 1、了解真空技术的基本知识； 2、掌握低、高真空的获得和测量的基本原理及方 法； 3、了解真空镀膜的基本知识； 4、学习掌握蒸发镀膜的基本原理和方法
实验仪器福
实验仪器
实验原理1真空技术的基本知识：1643年，意大利物理学家托里拆利（E.Torricelli）首创著名的大气压实验，获得真空真空：低于一个大气压的气体状态自然真空：气压随海拔高度增加而减小存在于宇宙空间人为真空：用真空泵抽掉容器中的气体
实验原理 1、真空技术的基本知识： 1643年,意大利物理学家托里拆利(E.Torricelli) 首创著名的大气压实验,获得真空. 真空：低于一个大气压的气体状态. 自然真空：气压随海拔高度增加而减小,存在于 宇宙空间. 人为真空：用真空泵抽掉容器中的气体
真空度：真空度是对气体稀薄程度的一种客观度量单位体积中的气体分子数越少表明真空度越高由于气体分子密度不易度量通常真空度用气体压强来表示压强越低真空度越高真空量度单位1标准大气压=760mmHg=760（Torr）1标准大气压-1.013x105Pa1Torr=133.3Pa
真空度： 真空度是对气体稀薄程度的一种客观度量,单 位体积中的气体分子数越少,表明真空度越高. 由于气体分子密度不易度量,通常真空度用气体 压强来表示,压强越低真空度越高. 真空量度单位 1标准大气压=760mmHg=760(Torr) 1标准大气压=1.013x105 Pa 1Torr=133.3Pa
真空区域的划分自前尚无统一规定，常见的划分为粗真空105-103pa（760-10Torr）低真空103-10-1pa（10-10-3Torr）高真空10-1-10-6pa（10-3-10-8Torr）超高真空10-6-10-10pa（10-8-10-12Torr极高真空<10-10pa（<10-12Torr）
真空区域的划分 目前尚无统一规定,常见的划分为： 粗真空 105-103pa(760-10Torr) 低真空 103-10-1pa(10-10-3Torr) 高真空 10-1-10-6pa(10-3-10-8Torr) 超高真空 10-6-10-10pa(10-8-10-12Torr) 极高真空 <10-10pa(<10-12Torr)