「线度08国度种的频 直线度的测量 5)双频激光准直仪法 用双频激光干涉仪测直线度 当反射镜7的顶点在光轴上时,频率为f1的偏振光在R点反射,频率 为f2的偏振光在R2点反射,则汇合光束的两个频率的光程差为零 当反射镜7的位置偏离光轴时,则频率为的偏振光和频率为f的偏 振光的汇合光束的光程差不为零-测出E值,最后获得被测表面相对 激光光轴的偏差。 2021/2/21
2021/2/21 第4节 直线度、平面度和垂直度的测量 一、直线度的测量 5）双频激光准直仪法 当反射镜7的顶点在光轴上时，频率为f1的偏振光在R1点反射，频率 为f2的偏振光在R2点反射，则汇合光束的两个频率的光程差为零。 当反射镜7的位置偏离光轴时，则频率为f1的偏振光和频率为f2的偏 振光的汇合光束的光程差不为零－测出E值，最后获得被测表面相对 激光光轴的偏差
「线度08国度种的频 二、平面度的测量 1统一基准法 WW 平 1)干涉法 N晶 对于精密小平面的平面度误差可弄 用干涉法测量。该法是以平晶表 面为基准平面,使它与被测平面 接触,在单色平行光照射下,形 成等厚干涉。调整平晶与被测表 面间的相对位置,使之产生较明 显的干涉条纹,然后根据千涉条 纹来评定平面度误差。当条纹数 不足一条时,则根据条纹弯曲程 度来评定平面度误差 平晶法测平面度 2021/221
2021/2/21 第4节 直线度、平面度和垂直度的测量 二、平面度的测量 1.统一基准法 1）干涉法 对于精密小平面的平面度误差可 用干涉法测量。该法是以平晶表 面为基准平面，使它与被测平面 接触，在单色平行光照射下，形 成等厚干涉。调整平晶与被测表 面间的相对位置，使之产生较明 显的干涉条纹，然后根据干涉条 纹来评定平面度误差。当条纹数 不足一条时，则根据条纹弯曲程 度来评定平面度误差