「线度08国度种的频 1)干涉法 平晶 平尺 用平晶测平尺的直线度 对于较长的研磨表面,如研磨平尺,可采用圆形平晶进 行分段测量,即所谓3点连环干涉法测量。若被测平尺长 度为200mm,则可选用Φ100mm的平晶,将平尺分成4 段进行测量,每次测量以两端点连线为准,测出中间的偏 差。测完一次,平晶向前移动50mm(等于平晶的半径)。 然后通过数据处理,得出平尺的直线度误差。 2021/2/21
2021/2/21 第4节 直线度、平面度和垂直度的测量 1）干涉法 用平晶测平尺的直线度 对于较长的研磨表面，如研磨平尺，可采用圆形平晶进 行分段测量，即所谓3点连环干涉法测量。若被测平尺长 度为200mm，则可选用Φ100mm的平晶，将平尺分成4 段进行测量，每次测量以两端点连线为准，测出中间的偏 差。测完一次，平晶向前移动50mm（等于平晶的半径）。 然后通过数据处理，得出平尺的直线度误差
「线度08国度种的频 直线度的测量 1)干涉法举例 G4 y (+0.6) (+02) a a (-0.3) a4(-0.4) (d) 测量数据 数据处理 2021/2/21
2021/2/21 第4节 直线度、平面度和垂直度的测量 一、直线度的测量 1）干涉法举例 测量数据 数据处理
「线度08国度种的频 直线度的测量 2)跨步仪法 原理:以两支承点的连线作为理想 直线测量第三点相对于此连线的偏 差。测量前,把此装置放在高精度 指示表 平尺或平板上,将指示表的示值调 本体 整为零,然后将测量装置放置在被 测面上进行测量,每次移动一个 工件 7距离,读取一个读数。移动时,前 次的测点位置,就是后次测量的前 支承点位置,如此依次逐段测完全 长,最后数据处理,即可求出被测 件的直线度误差。 2021/2/21
2021/2/21 第4节 直线度、平面度和垂直度的测量 一、直线度的测量 2）跨步仪法 原理：以两支承点的连线作为理想 直线测量第三点相对于此连线的偏 差。测量前，把此装置放在高精度 平尺或平板上，将指示表的示值调 整为零，然后将测量装置放置在被 测面上进行测量，每次移动一个l 距离，读取一个读数。移动时，前 次的测点位置，就是后次测量的前 支承点位置，如此依次逐段测完全 长，最后数据处理，即可求出被测 件的直线度误差
「线度08国度种的频 直线度的测量 测微准直望远镜或自准直仪发出的 3)光轴法 光线为理想直线,测出被测直线相对 于该理想直线的偏差值,经数据处理 求出被测线的直线度误差 测量步骤: 1)将被测线两端点连线调整到与光 轴测量基线大致平行; 2)若被测线为平面线,则代表被 测线长度方向的坐标值,y为被测线 相对于测量基线的偏差值。 若被测线移动瞄准靶2,同时记录各 点示值(y1)。再经数据处理求出直 2021/2/21 线度误差值
2021/2/21 第4节 直线度、平面度和垂直度的测量 一、直线度的测量 3）光轴法 测微准直望远镜或自准直仪发出的 光线为理想直线，测出被测直线相对 于该理想直线的偏差值，经数据处理 求出被测线的直线度误差。 测量步骤： 1）将被测线两端点连线调整到与光 轴测量基线大致平行； 2）若被测线为平面线，则xi代表被 测线长度方向的坐标值， yi为被测线 相对于测量基线的偏差值。 若被测线移动瞄准靶2，同时记录各 点示值（yi）。再经数据处理求出直 线度误差值
「线度08国度种的频 直线度的测量 4)激光准直仪法 激光取 口Q连线成光准直测的条基 准直线。 ] 当光电接收靶5中心与激光束中心 重合时,指示表指示为零,若靶 子中心偏离激光束中心,指示表 指示出数值即偏差值。测量时首 激光准直法测直线度 先将仪器与靶子调整好,然后将 1一激光器;2扩来望远镜:3-运算放大器;靶子沿被测表面测量方向移动 4一指示表;5—光电目标;6-电源 便能得到直线度误差的数值。 2021/2/21
2021/2/21 第4节 直线度、平面度和垂直度的测量 一、直线度的测量 4）激光准直仪法 氦－氖激光器发出的激光的中心 连线构成激光准直测量的一条基 准直线。 当光电接收靶5中心与激光束中心 重合时，指示表指示为零，若靶 子中心偏离激光束中心，指示表 指示出数值即偏差值。测量时首 先将仪器与靶子调整好，然后将 靶子沿被测表面测量方向移动， 便能得到直线度误差的数值