第四章电传器
第四章 电容传感器
、电容传感器的工作原理 由两平行极板组成一个电容器,若忽视其边 缘效应,电容量表示为 aoA C
一、电容传感器的工作原理 由两平行极板组成一个电容器,若忽视其边 缘效应,电容量表示为: d A C 0 = + + + d A
二、分类: 1、面积变化型角位移型平面线位移型 柱面线位移型。可测位移、尺寸 合 a 0 S(1-/x) Co(1-0/T)Cx Ebla-x 特点:线性,灵敏度低,k=C=的 只可测cm级。 C
+ + + + + + 二、分类: 1、面积变化型:角位移型,平面线位移型, 柱面线位移型。可测位移、尺寸 (1 / ) (1 / ) 0 0 = − − = = C d S C d S C x d b dx dC k d x C d b a x C d ba C x x = = − = − − = = (1 ) ( ) 0 0 特点:线性,灵敏度低, 只可测cm级
2、介质变化型 2n22= 2x(l-11)E R 2ml,, 尺 2rl 8 2 C=C1+C2= R R C=A+BL
2、介质变化型 1 2 1 1 2 1 2 1 1 1 2 2 1 2 2 ln 2 ( ) ln 2 ln 2 ln 2 ( ) ln 2 C A Bl r R l r R l C C C r R l C r R l l r R l C = + − = + = + = − = =
3、极距变化型 C- Es 特点:非线性,C≠(x)是一个双曲线函数 但容抗κf(x)呈线性关系 可测量微米级的位移,一般d<10mm, 最大位移限制在<0
3、极距变化型: d0 x d x s C d S C x − = = 0 0 特点:非线性,C =f(x)是一个双曲线函数 但容抗xc =f(x)呈线性关系 可测量微米级的位移,一般d<10mm, 最大位移限制在< d/10