4.电感耦合（高频）等离子体焰炬 等离子体是一种电离度大于0.1%的电离气 体，由电子、离子、原子和分子所组成，其中电 子数目和离子数目基本相等，整体呈现中性。 最常用的等离子体光源是电感耦合高频等离 子体焰炬(inductive coupled high frequency plasma,ICP)。其装置由高频发生器、 等离子炬管和雾化器三部分组成
高频感应线圈 等离子气流 辅助气流 载气Ar+样品 载气(Ar) 样品溶液
载气（Ar） 辅助气流 等离子气流 高频感应线圈 载气Ar + 样品 样品溶液 废液
CP炬形成过程： T/K 25 土10% ①高频感应线圈→高频交变电流→交变 .6000 6200 感应磁场；②电火花→触发少量气体电 点 6500 5000 离→交变感应磁场下碰撞电离→“雪崩 8000 式”放电→形成电离气体涡流；③数百 10000 安感应电流（涡电流）一→瞬间加热到 10000K→等离子炬→内管通入Ar形 成环状样品通道→样品蒸发、原子化、 激发。 试样+A1