3.051/BE.340 深度分辨ESCA/XPS 不经过非弹性碰撞光电子逃离样品的可能性与它在样品中的深度t反相关。 P(t)- exp 式中λe(典型的~5-30A)是电子非弹性平均自由程,它由电子动能和材料决定 (物理学上,λe=非弹性碰撞之间平均距离) 对于t=3λe→P(t)=0.05 6=90 95%信号来自t≤3Ae→ 通过改变溅射角度(θ),样品的深度可减少,表面灵敏度增加 t=3a. sin e
6 3.051/BE.340 深度分辨 ESCA/XPS ¾ 不经过非弹性碰撞光电子逃离样品的可能性与它在样品中的深度ｔ反相关。 式中λe(典型的～5-30Å)是电子非弹性平均自由程，它由电子动能和材料决定。 （物理学上，λe=非弹性碰撞之间平均距离） 对于 t=3λe ⇒ P（t）=0.05 95%信号来自 t≤3λe ¾ 通过改变溅射角度（θ），样品的深度可减少，表面灵敏度增加
3.051/BE.340 (度) 角度的组成变化表示: 表面的优先定位 表面分离 吸附种类(如:碳氢化合物) 等等 定量组成是深度的函数 在元素i第j个峰值下的面积是全部样品深度z衰减组成的积分 1n=(mx(m)L,O码() exp ne sin 6尽 Cis=仪器常数 T(E41n)=传输函数分析仪 L产元素i的轨函数j的角度非对称因素 0i产横截面的光致电离 n(Z)是深度z的原子i的浓度(原子数/体积)
7 3.051/BE.340 θ（度） ¾ 角度的组成变化表示： - 表面的优先定位 - 表面分离 - 吸附种类（如：碳氢化合物） - 等等 ¾ 定量组成是深度的函数 在元素 i 第 j 个峰值下的面积是全部样品深度 z 衰减组成的积分 Cinst= 仪器常数 T（Ekin）= 传输函数分析仪 Lij= 元素 i 的轨函数 j 的角度非对称因素 σij= 横截面的光致电离 ni(Z)是深度 z 的原子 i 的浓度（原子数/体积）