5.4光栅尺位移传感器光栅分为物理光栅和计量光栅两大类。检测直线位移的称为直线光栅，检测角度位移的称为圆光栅：根据光电元件感光方式不同，可将光栅分为玻璃透射式光栅和金属反射式光栅。玻璃透射式光栅是在透明的光学玻璃表面制成感光涂层或金属镀膜，经过涂敷，蚀刻等工艺制成间隔相等红外光源IRED耗格密刺线玻璃的透明与不透明线纹，线纹的间距和宽度相等并与运动方向垂直，线纹之间的间距称为栅距。常用的线纹密度为25条/mm、50条/mm、100条/mm、250条/mm。条数越多，光栅的分辨率越高。圆光栅是在玻璃圆盘的圆环端面上，制成透光与不透光相间的条纹，条纹呈辐射状，相互间的夹角相等。刺线轨迹光电二级管接收器零参考点标记
光栅分为物理光栅和计量光栅两大类。检测直线位移的称为直线光栅，检测角 度位移的称为圆光栅；根据光电元件感光方式不同，可将光栅分为玻璃透射式 光栅和金属反射式光栅。 玻璃透射式光栅是在透明的光学玻璃表面制成感光涂 层或金属镀膜，经过涂敷，蚀刻等工艺制成间隔相等 的透明与不透明线纹，线纹的间距和宽度相等并与运 动方向垂直，线纹之间的间距称为栅距。常用的线纹 密度为25条/㎜、50条/㎜、100条/㎜、250条/㎜。 条数越多，光栅的分辨率越高。 圆光栅是在玻璃圆盘的圆环端面上，制成透光与不透 光相间的条纹，条纹呈辐射状，相互间的夹角相等。 5.4光栅尺位移传感器
5.4光栅尺位移传感器直线玻璃透射式光栅和金属反射式光栅检测装置分别如图所示。LED光源深光锁扫摇光栋主指4光电接光测量基准光示镜收元件搬光提格码册GI舌参考点标记反射式光栅检测装置透射式光栅检测装置光栅尺外形如图1所示，它由光源、聚光镜、主光栅、指示光栅和光电接收元件组成，如图2所示。其中光源供给光能：聚光镜将光源发出的光转换成平行光：主光栅与指示光栅构成光栅副，光栅副是光栅尺传感器的核心，它决定了光栅尺的精度
直线玻璃透射式光栅和金属反射式光栅检测装置分别如图所示。 透射式光栅检测装置 反射式光栅检测装置 光栅尺外形如图1所示，它由光源、聚光镜、主光栅、指示光栅和光电接收元件组 成，如图2所示。其中光源供给光能；聚光镜将光源发出的光转换成平行光；主光 栅与指示光栅构成光栅副，光栅副是光栅尺传感器的核心，它决定了光栅尺的精度 5.4光栅尺位移传感器
5.4光栅尺位移传感器直线透射式光栅·1.组成由标尺光栅和光栅读数头两部分组成，光栅读数头包括光源、透镜、光电元件、指示光栅等。如图所示。标尺光栅和指示光栅也可称为长光栅和短光栅，它们的线纹密度相等。长光栅可安装在机床的固定部件上（如机床床身），其长度应等于工作台的全行程；短光栅长度较短，随光栅读数头安装在机床的移动部件上
直线透射式光栅 • 1. 组成 • 由标尺光栅和光栅读数头两部分组成，光栅读数头包括光源、透 镜、光电元件、指示光栅等。如图所示。 • 标尺光栅和指示光栅也可称为长光栅和短光栅，它们的线纹密度 相等。长光栅可安装在机床的固定部件上（如机床床身），其长 度应等于工作台的全行程；短光栅长度较短，随光栅读数头安装 在机床的移动部件上。 5.4光栅尺位移传感器
5.4光栅尺位移传感器直线透射式光栅1、组成：由标尺光栅和光栅读数头两部分组成，光栅读数头包括光源、透镜、光电元件、指示光栅等。如图所示。标尺光栅和指示光栅也可称为长光栅和短光栅，它们的线纹密度相等。长光栅可安装在机床的固定部件上（如机床床身），其长度应等于工作台的全行程：短光栅长度较短，随光栅读数头安装在机床的移动部件上。驱动线路门光栅位置检测装置的组成1一光源2一透镜3一标尺光栅4一指示光栅5一光电元件
光栅位置检测装置的组成 1—光源 2—透镜 3—标尺光栅4—指示光栅 5—光电元件 直线透射式光栅 1、组成：由标尺光栅和光栅读数头两部分组成，光栅读数头包括光源、透 镜、光电元件、指示光栅等。如图所示。 • 标尺光栅和指示光栅也可称为长光栅和短光栅，它们的线纹密度相等。 长光栅可安装在机床的固定部件上（如机床床身），其长度应等于工作 台的全行程；短光栅长度较短，随光栅读数头安装在机床的移动部件上。 5.4光栅尺位移传感器