4.52莫尔条纹形成的原理 6 横向莫尔条纹的斜率 tan a= tan wvii 2 m莫尔条纹间距 BuI BC wW B=AB= 6 sIn 2 莫尔条纹的宽度Bn由 光栅常数与光栅夹角决定 上一页 下一页
4.5.2 莫尔条纹形成的原理 2 tan tan = 横向莫尔条纹的斜率 莫尔条纹间距 BC W W BH = AB = = 2 2sin 2 sin 莫尔条纹的宽度BH由 光栅常数与光栅夹角决定 返 回 上一页 下一页
4.53莫尔条纹技术的特 (1)调整夹角即可得到很大的莫尔条纹的宽度,起到了 放大作用,又提高了测量精度 (2)莫尔条纹的光强度变化近似正弦变化,便于将电信 号作进一步细分,即采用“倍频技术”。这样可以提 高测量精度或可以采用较粗的光栅。 (3)光电元件对于光栅刻线的误差起到了平均作用。刻 线的局部误差和周期误差对于精度没有直接的影响。 因此可得到比光栅本身的刻线精度高的测量精度。 这是用光栅测量和普通标尺测量的主要差别 上一页 下一页
4.5.3 莫尔条纹技术的特点 （1）调整夹角即可得到很大的莫尔条纹的宽度，起到了 放大作用，又提高了测量精度。 （2）莫尔条纹的光强度变化近似正弦变化，便于将电信 号作进一步细分，即采用“倍频技术” 。这样可以提 高测量精度或可以采用较粗的光栅。 （3）光电元件对于光栅刻线的误差起到了平均作用。刻 线的局部误差和周期误差对于精度没有直接的 影响。 因此可得到比光栅本身的刻线精度高的测量精度。 这是用光栅测量和普通标尺测量的主要差别。 返 回 上一页 下一页
径向光栅进行角度测量 指示光栅 莫尔条纹 度盘光栅 当标尺光栅相对于指示光栅转动时,条纹即沿径向移动, 测出条纹移动数目,即可得到标尺光栅相对指示光栅转动的角度。 上一页 下一页
径向光栅进行角度测量 当标尺光栅相对于指示光栅转动时，条纹即沿径向移动， 测出条纹移动数目，即可得到标尺光栅相对指示光栅转动的角度。 返 回 上一页 下一页
4.5.4光栅的光路 透射光路 反射光路 上一页 下一页
4.5.4 光栅的光路 ⚫ 透射光路 ⚫ 反射光路 返 回 上一页 下一页
(1)透射式光路 4 1-光源 2-准直透镜 b3主光栅 4指示光栅 5光电元件 此光路适合于粗栅距的黑白透射光栅。 特点:结构简单,位置紧凑,调整使用方便,应用广泛 上一页 下一页
（1）透射式光路 1-光源 2-准直透镜 3-主光栅 4-指示光栅 5-光电元件 此光路适合于粗栅距的黑白透射光栅。 特点：结构简单，位置紧凑，调整使用方便，应用广泛。 返 回 上一页 下一页