Dielectric constant Current integration 3 efforts Silica SSQ 2 Polymer 十 0 20 40 60 80 100 Porosity (% PDF文件使用"pdfFactory”试用版本创建w.fineprint.cn
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3.Low-k材料的制备 CVD Spin-on dielectric (SOD) Silica oligomer(MSQ,HSQ,etc.) +sacrificial porogen (organic polymer) Source Gas spin coating RF source Si Heater 2” 米2 PE-CVD system gelation -200C curing ~400C PDF文件使用"pdfFactory”试用版本创建www.fineprint.cn
3. Low-k 材料的制备 PDF 文件使用 "pdfFactory" 试用版本创建 www.fineprint.cn
旋转涂布(Spin On) 化学薄膜沉积(CVD一 Chemical Vapor Deposition) 設備簡單便宜 浪費的材料較少 操作容易 不需使用具毒性的溶劑 可達局部平坦化 薄膜純度較易控制 穩定性較優良 不易產生破裂 浪費的材料較多 設備較複雜昂貴 需使用具毒性的溶荆 操作較難 薄膜純度控制不易 不易達局部平坦化 穩定性較不良 PDF文件使用"pdfFactory”试用版本创建ww.fineprint.cn
旋转涂布(Spin On) 化学薄膜沉积 (CVD— Chemical Vapor Deposition) 設備簡單便宜 浪費的材料較少 操作容易 不需使用具毒性的溶劑 可達局部平坦化 薄膜純度較易控制 穩定性較優良 不易產生破裂 浪費的材料較多 設備較複雜昂貴 需使用具毒性的溶劑 操作較難 薄膜純度控制不易 不易達局部平坦化 穩定性較不良 PDF 文件使用 "pdfFactory" 试用版本创建 ÿwww.fineprint.cn
Silsesquioxane (SSQ) 倍半氧化硅薄膜 H ⊙c H H a b ig.6 A schematic representation (not to scale)of a tetrahedral silica unit (a)and the ame unit of SiOCH material(b).Replacing an oxygen atom by a CHa group reduces the value by introducing a less polar bond and by creating additional free volume 'constitutive porosity). H 硅原子分布在聚合物主链上，不存 在悬挂在外的硅原子团，因此SSQ是 Fig.7 A schematic representation(not to scale)of a silsesquioxane (SSQ)unit.The SSQ may contain hydrogen (HSSQ)or methyl groups (MSSQ).The cubes are metastable and 非常稳定的聚合物，可以减少含硅气 tend to decompose to silica tetrahedra at elevated temperatures.The cubes are connected to each other through an oxygen atom (HSSQ)or a-CHz-radical (MSSQ). 体挥发行之有效的方法) PDF文件使用"pdfFactory”试用版本创建w.fineprint.cn
倍半氧化硅薄膜 (SSQ) (硅原子分布在聚合物主链上，不存 在悬挂在外的硅原子团，因此SSQ是 非常稳定的聚合物, 可以减少含硅气 体挥发行之有效的方法) PDF 文件使用 "pdfFactory" 试用版本创建 www.fineprint.cn ÌÌ
Typical Curing Sequence of JSR LKD Tool Process Condition SOD Coater Spin Coat 2000-3000rpm SOD HP Prebake Evaporation of solvent 80C x 60 sec in Air Crosslink of polymer SOD HP Softbake 200°Cx60 sec in Air Vertical Final 420°Cx30min Furnace Cure Ambient Pressure in N2 PDF文件使用"pdfFactory”试用版本创建挂，fineprint.cn
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