四、测量步骤热调整仪器测量时调整仪器的方法如下：（1）开亮灯泡，转动手轮10和6（图1），使图2中的遮光板14从光路中转出。如果视场亮度不均匀，可转动调节摄丝48，使视场亮度灼勾。(2）转动手轮8，使目镜视场中形直边清晰，如图3所示。物镜出射意孔一灯丝条0000孔狂光闸象亏形直图3图4（3）在工作台上放置好洗净的被测工件。被测表面向下，朝向物镜。转动手轮6，遮去图2中的参考镜13的一路光束。转动滚花轮2c，使工作台升降直到目镜视场中观察到清晰的工件表面象为止，再转动手轮6，使图2中的避光板从光路中转出。（4）松开螺丝1b取下别微目镜1.直接从目镜管中观察，可以看到两个灯丝象。转动手轮11，使图2中的孔径光阑6开至最大，转动手轮7和9，使两个灯丝象完全重合，同时调节螺丝4，使灯丝象位于孔径光闲中央，如图4所示，然后装上测微目镜，旋紧螺丝1b+（5）在精密测量中，通常采用光波波长稳定的单色光（本仪器用的是绿光），此时应将手柄12推到底；使图2中的滤色片3插入光路。当被测表面粗度较低而加工瘾迹又不很规则时，干涉条纹将呈现出急剧的弯曲和断裂现象，这时则不推动手柄12，而采用白光，因为白光干涉成彩色条纹，其中零次干沙条纹可清晰地显示出条纹的弯曲情况，便于观察和测量，如在目镜中看不到干涉条纹，可侵侵转动手轮14真到出现清晰的干涉条纹为止（图5a）。（6），转动手轮7和9以及手轮8和14，可以得到所需的干涉条纹亮度和宽度。(7）转动工作台2b，使加工痕迹的方向与干涉条纹垂直(8)松开螺丝Ib，转动测微目镜1，使视场中十字刻线之一与干涉条纹平行，然后打紧螺丝1b，此时即可进行具体的测量工作。2.测量方法在此仪器上，表面粗精度可以用两种方法测量。(1)用测微目镜测量1)转动测获目镜的测微器1a，使视场中与干涉条纹平行的十字线中的一条线对准一条干涉条纹峰项中心（图5b），这时在测微器上的读数为N1。然后再对准相邻的另一条干涉条纹峰项中心，读数为N2（N一N2）即为条纹间距b13
对准一条干步条纹峰顶中心读数N后，移动十字线，对准同一条于涉条纹谷2)#底中心，读数为N（Ni一N）即为干涉条纹弯曲量a。按不平度平均尚度R的定文，在基本长度范图内测量同一条干涉条纹的5个最高峰和5个最低谷，这个干涉条纹弯曲量的平均值a为：--艺青茶倪制部家用机鲜线用最收NA2中国染拉孕南信M-M6M-MN(a)(b)图5a平约5#被测表面的不平度平均高度R为：54F.4a年u入IR.22b采用白光时，=0.55um采用单色光时，别按仪器所附滤色片检定书载明的波长取值按评定长度要求，各取样长度的Rz值还需平均后才能作为评定表面粗艳度的可靠数据。上述测量中，在各个取样长度范围内的最大峰值读数和最小容值读数之差，为各个取样m值，按下式计算轮摩最大高度R，值。长度的轮哪最大R值，选取其中最大的R馆XR小R.b21n(2)用目视估计判定2.用肉眼观察视场，直接估读出旁曲量a为干涉条纹间距b的多少倍或几分之一，用目视估读的a/b值来代替测微目镜的读效。在取样长度范国内对同一条干涉条纹估读5个这样的比值，取其平均值，然后再计算Rz值。同样，根据求得的各取样长度的Rz值再平均后作为最后的评定数据目视估读法效率高，方法简便，但不够准确，因此只能作为一种近似的测量方法。思考题3仪器使用说明书上写着：用光波干涉原理测量表面粗糖度，就是以光波为尺子来计量被测面上微观峰谷的高度差。这把尺子的刻度间距和分度值如何体现？aaa14