二、灵敏度 1)材料电阳p与载流子浓度n和其迁移率μ 相关,R1=(Hp)(R=1/m(-D 2)Km=RH/d,则d要小,霍尔片要薄(lpm) 3)霍尔片长边短边>4,输出不受影响(一般长 边短边=2,短边通以电流,长边输出Un) 建立霍尔效应的时间很短:102~1014s 控制电流用交流时,频率可以很高(几千兆赫)
二、灵敏度 1)材料电阻ρ与载流子浓度n和其迁移率μ 相关, RH = (μ,ρ) (RH= 1 / [n( - e)]) 2)KH= RH / d ,则d要小,霍尔片要薄(1μm) 3)霍尔片长边/短边>4,输出不受影响(一般长 边/短边=2, 短边通以电流,长边输出UH ) 建立霍尔效应的时间很短:10-2~ 10-14s 控制电流用交流时,频率可以很高(几千兆赫)
接舳要求:欧姆接触(无PN结) 老式:焊接 新方法:离子注入工艺 溅射工艺 霍尔元件外形及结构: 尺寸:4mm×2mmx0.1mm b) 4)
接触要求:欧姆接触(无PN结) 老式:焊接 新方法:离子注入工艺 溅射工艺 霍尔元件外形及结构: 尺寸:4mm × 2mm × 0.1mm 1 3 2 4