2.仪器构造 -75,000茯 五部分： GM120 光源 聚光镜 照明系统 样品 成像系统 物镜 镜体 记录系统 视窗- 真空系统 初级像平面 初级荧光屏 投影镜 电器系统 CM T2 Hu时 二级像平面 接真空泵可照相干板
五部分： 照明系统 成像系统 记录系统 真空系统 电器系统 2.仪器构造
1)照明系统： 接负高压 照明 电子枪和聚光镜 阳极 光闲 2)成像系统： 光 物镜、中间镜和 投影镜 一物 物镜光闲 选区光闲 3)真空系统 中间镜 4)记录系统： 投影镜 荧光屏和感光胶 荧光屏或照相底片 片
1）照明系统： 电子枪和聚光镜 2）成像系统： 物镜、中间镜和 投影镜 3）真空系统 4）记录系统： 荧光屏和感光胶 片
照明系统 亮度，相干性和 稳定性 电子枪：电子源+控制发散装置 组成 聚光镜
照明系统 电子枪:电子源+控制发散装置 聚光镜 组成 亮度，相干性和 稳定性
电子枪： 加速电压为50~300kV。 电子枪 高压线 钨丝 热电子源 电子源 LaB 栅极 场发射源：强电场作用 阳极板 电 阴极灯丝 三极热电子枪 子 栅极 枪 阳极板
热电子源 场发射源：强电场作用 加速电压为50～300kV。 电子枪： 电子源 钨丝 LaB6 三极热电子枪 阴极灯丝 栅极 阳极板 电 子 枪 栅极
聚光镜 电子枪交义点 第一聚光镜→ C 双聚光镜 C交义点 照明系统 光路图 第二聚光镜 C:及C,光栏 会聚角1<a: 样品
双聚光镜 照明系统 光路图 第一聚光镜 第二聚光镜 聚光镜