1。电子光学系统 filament source of electrons Image condenser scan generator beam magnification contro objektive cathode ph specimen collector
1．电子光学系统 •
(1)电子 (electron gun) 其作用是利用阴极与阳极灯丝间的高压产 生高能量的电子束。 扫描电子显微镜电子枪与透射电子显微镜 的电子枪相似,只是加速电压比透射电子 显微镜的低
(1)电子枪 （electron gun） • 其作用是利用阴极与阳极灯丝间的高压产 生高能量的电子束。 • 扫描电子显微镜电子枪与透射电子显微镜 的电子枪相似，只是加速电压比透射电子 显微镜的低
(2)电磁透镜 (electromagnetic lens 其作用是把电子枪的束斑逐渐聚焦缩小,使原来 直径约50μm的束斑缩小成一个只有数mm的细小束 斑。 ·扫描电子显微镜一般由三个聚光镜,前两个聚光 镜是强透镜,用来缩小电子束光斑尺寸。 第三个聚光镜是弱透镜,具有较长的焦距,该透 镜下方放置祥品,为避免磁场对二次电子轨迹的 干扰,该透镜采用上下极靴不同且孔径不对称的 特殊结构,这样可以大大减小下极靴的圆孔直径, 从而减小了试样表面的磁场强度
(2)电磁透镜 （electromagnetic lens） • 其作用是把电子枪的束斑逐渐聚焦缩小，使原来 直径约50m的束斑缩小成一个只有数nm的细小束 斑。 • 扫描电子显微镜一般由三个聚光镜，前两个聚光 镜是强透镜，用来缩小电子束光斑尺寸。 • 第三个聚光镜是弱透镜，具有较长的焦距，该透 镜下方放置祥品，为避免磁场对二次电子轨迹的 干扰，该透镜采用上下极靴不同且孔径不对称的 特殊结构，这样可以大大减小下极靴的圆孔直径， 从而减小了试样表面的磁场强度
(2)电透镜 SCANNING ELECTRON MICROSCOPE URLUUi EOLUilil ELELIROH GUH H LUHUEHS IHIG UEJEET JUE LEHS SECUilDHHY ELELTHUjS ELEL THUi BEHlI HUE DEJELTUH 8 AUIPLIFJER
(2)电磁透镜 •
(3)扫戀线圈 (scanning section coil) ·其作用是提供入射电子束在样品表面上以及阴极射线管内 电子束在荧光屏上的同步扫描信号 扫描线圈是扫描电子显微镜的一个重要组件,它一般放在 最后二透镜之间,也有的放在末级透镜的空间内,使电子 束进入末级透镜强磁场区前就发生偏转,为保证方向一致 的电子束都能通过末级透镜的中心射到样品表面;扫描电 子显微镜采用双偏转扫描线圈。 当电子束进入上偏转线圈时,方向发生转折,随后又由下 偏转线圈使它的方向发生第二次转折。在电子束偏转的同 时还进行逐行扫描,电子束在上下偏转线圈的作用下,扫 描出一个长方形,相应地在样品上画出一帧比例图像。 ·如果电子束经上偏转线圈转折后未经下偏转线圈改变方向, 而直接由末级透镜折射到入射点位置,这种扫描方式称为 角光栅扫描或摇摆扫描
(3)扫描线圈 （scanning section coil） • 其作用是提供入射电子束在样品表面上以及阴极射线管内 电子束在荧光屏上的同步扫描信号。 • 扫描线圈是扫描电子显微镜的一个重要组件，它一般放在 最后二透镜之间，也有的放在末级透镜的空间内，使电子 束进入末级透镜强磁场区前就发生偏转，为保证方向一致 的电子束都能通过末级透镜的中心射到样品表面；扫描电 子显微镜采用双偏转扫描线圈。 • 当电子束进入上偏转线圈时，方向发生转折，随后又由下 偏转线圈使它的方向发生第二次转折。在电子束偏转的同 时还进行逐行扫描，电子束在上下偏转线圈的作用下，扫 描出一个长方形，相应地在样品上画出一帧比例图像。 • 如果电子束经上偏转线圈转折后未经下偏转线圈改变方向， 而直接由末级透镜折射到入射点位置，这种扫描方式称为 角光栅扫描或摇摆扫描