六、歇电子 (Auger electron) 如果原子内层电子能级跃迁过程中释放出来的能 量△E不以X射线的形式釋放,而是用该能量将核 外另一电子打出,脱离原子变为二次电子,这种 二次电子叫做俄歇电子。 因每一种原子都有自己特定的壳层能量,所以它 们的俄歇电子能量也各有特征值,一般在50-1500 eV范围之内。俄歇电子是由试样表面极有限的几 个原于层中发出的,这说明俄歇电子信号适用于 表层化学成分分析。 显然,一个原子中至少要有三个以上的电子才能 产生俄歇效应,铍是产生俄歇效应的最轻元素
六、俄歇电子 （Auger electron） • 如果原子内层电子能级跃迁过程中释放出来的能 量E不以X射线的形式释放，而是用该能量将核 外另一电子打出，脱离原子变为二次电子，这种 二次电子叫做俄歇电子。 • 因每一种原子都有自己特定的壳层能量，所以它 们的俄歇电子能量也各有特征值，一般在50-1500 eV范围之内。俄歇电子是由试样表面极有限的几 个原于层中发出的，这说明俄歇电子信号适用于 表层化学成分分析。 • 显然，一个原子中至少要有三个以上的电子才能 产生俄歇效应，铍是产生俄歇效应的最轻元素
其它物理信号 除了上述六种信号外,固体样品中还会产 生例如阴极荧光、电子束感生效应和电动 势等信号,这些信号经过调制后也可以用 于专门的分析
其它物理信号 • 除了上述六种信号外，固体样品中还会产 生例如阴极荧光、电子束感生效应和电动 势等信号，这些信号经过调制后也可以用 于专门的分析
小 X射线 1散射(相千,非相干) 与物质相互2光电效应俄歇二次荧光光电子) 作用 3透射 4热 电子束 1背散射; 2二次电子 与物质相互3透射电子;4吸收电子 作用 5俄歇; 6特征X射线 7阴极荧光 ■■■■■■
小节 X射线 与物质相互 作用 1.散射(相干,非相干) 2.光电效应(俄歇,二次荧光,光电子) 3.透射 4.热 电子束 与物质相互 作用 1.背散射; 2.二次电子 3.透射电子; 4.吸收电子 5.俄歇; 6.特征X射线 7.阴极荧光……
§8.9扫电子显微镜的结构 作愿理 扫描电子显微镜由电子光学 系统、信号收集及显示系统、 电子枪 真空系统及电源系统组成。 其实物照片以及结构框图如 聚光镜 凶区 图8-2所示。 聚光镜 显象管 区 物 放大 扫描 镜 变换 发生器 样品 信号信号放大 探测器和处理 真空系统
§8.2 扫描电子显微镜的结构和工 作原理 • 扫描电子显微镜由电子光学 系统、信号收集及显示系统、 真空系统及电源系统组成。 其实物照片以及结构框图如 图8-2所示
1。电子光学系统 ·电子光学系统由电子枪、电磁透镜、扫描 线圈和样品室等部件组成。 其作用是用来获得扫描电子束,作为使样 品产生各种物理信号的激发源。 为获得较高的信号强度和图像分辨率,扫 描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的 束斑直径
1．电子光学系统 • 电子光学系统由电子枪、电磁透镜、扫描 线圈和样品室等部件组成。 • 其作用是用来获得扫描电子束，作为使样 品产生各种物理信号的激发源。 • 为获得较高的信号强度和图像分辨率，扫 描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的 束斑直径