4.换版 (1)预抽底版真空 (2)换版 (3)预抽照相室真空 5.关机 (1)关闭灯丝电流 (2)关闭高压 (3)关闭总电源 (4)关闭循环水阀门
• 4．换版 • (1)预抽底版真空 • (2)换版 • (3)预抽照相室真空 • 5．关机 • (1)关闭灯丝电流 • (2)关闭高压 • (3)关闭总电源 • (4)关闭循环水阀门
扫描电子显微镜 阴极荧光射电子 俄歌电子 特征X射线 次电子 背散射电子 吸收电流 弹性散射电子 非弹性散射电子 透射电子 图2-16电∮与样品相互作用产生的各种信号
扫描电子显微镜
扫描电镜的成像原理 电子枪 照像机 第 扫描 显像管 聚光镜 发生器 第二 聚光锐 x和Y「放大倍数 控制 物镜 样品 真空 探头 视频放大 系统 图2-18扫描电镜的L作原理
扫描电镜的成像原理
扫描电镜的仪器结构 1.电子光学系统: (1)电子枪 (2)聚光镜和物镜 (3)扫描线圈(4)样品室 2.信号检测与显示系统 (1)二次电子检测器 (2)信号放大单元 (3)图像显示单元 (4)操作控制单元 3.真空系统 (1)机械泵 (2)扩散泵
扫描电镜的仪器结构 • 1．电子光学系统 : • (1)电子枪 • (2)聚光镜和物镜 • (3)扫描线圈 (4)样品室 • 2．信号检测与显示系统: • (1)二次电子检测器 • (2)信号放大单元 • (3)图像显示单元 • (4) 操作控制单元 • 3．真空系统: • (1)机械泵 • (2)扩散泵
扫描电镜的使用操作 1.开机:抽真空30分钟 2.装入或更换样品 3.观察条件的选择 4.图像的选择与调整 5.关机
扫描电镜的使用操作 • 1． 开机：抽真空30 分钟 • 2．装入或更换样品 • 3．观察条件的选择 • 4．图像的选择与调整 • 5 ．关机