表面污染分析 一由于对各个元素在XPS中都会有各自的特征 光谱,如果表面存在C、O或其它污染物质, 会在所分析的物质XPS光谱中显示出来,加 上XPS表面灵敏性,就可以对表面清洁程度 有个大致的了解; 一如图是z样品的XPS图谱,可以看出表面存 在C、O、A等杂质污染。 2021/2/22 HSLP 16
2021/2/22 HNU-ZLP 16 • 表面污染分析 – 由于对各个元素在XPS中都会有各自的特征 光谱，如果表面存在C、O或其它污染物质， 会在所分析的物质XPS光谱中显示出来，加 上XPS表面灵敏性，就可以对表面清洁程度 有个大致的了解； – 如图是Zr样品的XPS图谱，可以看出表面存 在C、O、Ar等杂质污染
AanN 1160 MasNzN zr3d≌ Masny Zrp c Zr3 E E 1120 1070z3pu Zrp Zr3s Zr4s 1000 40o 结合能/eV 2021/2/22 图12Zr的XPs光电子能谱图
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