探测发射分析方法名称简称 主要用途 粒子粒子 eⅩ射线光电子谱XPS成份 e紫外线光电子谱UPS分子及固体的电子态 e同步辐射光电子谱SRS成份、原子及电子态 Y红外吸收谱 IR 原子态 Yy拉曼散射谱 RAMAN原子态 Y表面灵敏扩展X射| SEXAFS结构 线吸收谱细致结构 Y角分辨光电子谱ARPS原子及电子态、结构 I光子诱导脱附PSD原子态 e-电子y-光子I一离子 2021/2/22 6
2021/2/22 HNU-ZLP 6 探测 粒子 发射 粒子 分析方法名称 简称 主要用途 e X射线光电子谱 XPS 成份 e 紫外线光电子谱 UPS 分子及固体的电子态 e 同步辐射光电子谱 SRPES 成份、原子及电子态 红外吸收谱 IR 原子态 拉曼散射谱 RAMAN 原子态 表面灵敏扩展X射 线吸收谱细致结构 SEXAFS 结构 角分辨光电子谱 ARPES 原子及电子态、结构 I 光子诱导脱附 PSD 原子态 e－电子 －光子 I－离子
表中仅列出了探测粒子为电子和光子的 常用表面分析方法,此外还有离子、中 性粒子、电场、热、声波等各种探测手 段。这些方法各有其特点,而没有万能 的方法,针对具体情况,我们可以选择 其中一种或综合多种方法来分析。 2021/2/22 HSLP 7
2021/2/22 HNU-ZLP 7 • 表中仅列出了探测粒子为电子和光子的 常用表面分析方法，此外还有离子、中 性粒子、电场、热、声波等各种探测手 段。这些方法各有其特点，而没有万能 的方法，针对具体情况，我们可以选择 其中一种或综合多种方法来分析
142X射线光电子能谱(XPS) 2021/2/22
2021/2/22 HNU-ZLP 8 14.2 X射线光电子能谱（XPS）
、基本原理 X射线与物质相互作用时,物质吸收了X 射线的能量并使原子中内层电子脱离原子 成为自由电子,即Ⅹ光电子,如图1-1 对于气体分子,X射线能量hv用于三部分: 一部分用于克服电子的结合能Eb,使其激发 为自由的光电子; 一部分转移至光电子使其具有一定的动能E; 一一部分成为原子的反冲能E 02则h=Eb+E+E
2021/2/22 HNU-ZLP 9 一、基本原理 • X射线与物质相互作用时，物质吸收了X 射线的能量并使原子中内层电子脱离原子 成为自由电子，即X光电子，如图1－1。 • 对于气体分子，X射线能量h用于三部分： – 一部分用于克服电子的结合能Eb，使其激发 为自由的光电子； – 一部分转移至光电子使其具有一定的动能Ek； – 一部分成为原子的反冲能Er。 则 h＝ Eb＋ Ek ＋ Er
光电子(E x射线() 俄歌电子 .荧光X射线 图52光电效应过程 2021/2/22 10
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