积物理学 固体的扩散 NWARE 四川大学材料科学与工程学院杨为中
材料物理化学 固体中的扩散 四川大学材料科学与工程学院 杨为中
扩散现象:由于热或其他原因导致的原子运 动,物质从系统的这一部分迁移至另一部分 的现象,被称为扩散。 扩散体系=扩散物质+扩散介质 气味—气体分子扩散 汽油味(gg) 盐酸的制备(g) 液体混合、布朗运动 液体分子扩散 墨水融解()、酒精()、咖啡融解(s/) ●。 固体分子扩散么? n半导体掺杂(ss) 2021/2/10 杨为早释物理牝孕
2021/2/10 杨为中 材 料 物 理 化 学 2 ◼ 扩散现象：由于热或其他原因导致的原子运 动，物质从系统的这一部分迁移至另一部分 的现象，被称为扩散。 ◼ 扩散体系＝ 扩散物质＋扩散介质 ◼ 气味——气体分子扩散 ◼ 汽油味（g/g） ◼ 盐酸的制备（g/l） ◼ 液体混合、布朗运动 ——液体分子扩散 ◼ 墨水融解（l/l）、酒精（l/l）、咖啡融解（s/l） ◼ …固体分子…扩散么？ ◼ 半导体掺杂（s/s）…………
固体扩散示意-生活实例 固体的护散 杨为中材料物理化学
2021/2/10 杨为中 材 料 物 理 化 学 3 固体扩散示意-生活实例
固体扩散示意 金铅 2021/2/10
2021/2/10 杨为中 材 料 物 理 化 学 4 固体扩散示意
实例】基于固相扩散的半导体掺杂 ■本征半导体——掺杂半导体-施主、受主 排气 晶圆 热丝 掺杂气体 掺杂物源(含有掺杂物质的玻璃) 不纯物元素 热丝 石英玻璃 热扩散装 扩散层 S单结晶
◼ 【实例】基于固相扩散的半导体掺杂 ◼ 本征半导体——掺杂半导体-施主、受主