第章半导体传感器 第9章半导体传感器 9,1气敏传感器 9,2湿敏传感器 93色敏传感器 9,4半导体式传感器应用 BACK
第9章 半导体传感器 第9章 半导体传感器 9.1 气敏传感器 9.2 湿敏传感器 9.3 色敏传感器 9.4 半导体式传感器应用
第章半导体传感器 91气敏传感器 911概述 用途:用来检测气体类别、浓度和成分 分类:按构成气敏传感器的材料分为两大类:半导体和 非半导体气敏传感器。使用最多的是半导体气敏传感器
第9章 半导体传感器 9.1 气 敏 传 感 器 9.1.1 概述 用途：用来检测气体类别、浓度和成分。 分类：按构成气敏传感器的材料分为两大类：半导体和 非半导体气敏传感器。使用最多的是半导体气敏传感器
盏第障章半导体传感器￡ 半导体气敏传感器 工作原理:利用待测气体与半导体表面接触时,产生的电导率 等物理性质变化来检测气体。 分类: 表面控制型和体控制型—按照半导体与气体相互作用时产生的变 化只限于半导体表面或深入到半导体内部,可分为 表面控制型一半导体表面吸附的气体与半导体间发生电子 接受,结果使半导体的电导率等物理性质发生变化,但内部化学 组成不变; 体控制型--￥导体与气体的反应,使半导体内部组成发生 变化,历使电导率变化 电阻型和非电阻型—按照半导体变化的物理特性,又可分为~。 电阻型是利用敏感材料接触气体时,其阻值变化来检测气体 的成分或浓度; 非电阻型是利用其它参数,如二极管伏安特性和场效应晶体 管的阈值电压变化来检测被测气体的
第9章 半导体传感器 半导体气敏传感器 工作原理：利用待测气体与半导体表面接触时， 产生的电导率 等物理性质变化来检测气体。 分类： 表面控制型和体控制型—按照半导体与气体相互作用时产生的变 化只限于半导体表面或深入到半导体内部，可分为～。 表面控制型----半导体表面吸附的气体与半导体间发生电子 接受，结果使半导体的电导率等物理性质发生变化，但内部化学 组成不变； 体控制型----半导体与气体的反应，使半导体内部组成发生 变化，而使电导率变化。 电阻型和非电阻型—按照半导体变化的物理特性，又可分为～。 电阻型是利用敏感材料接触气体时，其阻值变化来检测气体 的成分或浓度； 非电阻型是利用其它参数，如二极管伏安特性和场效应晶体 管的阈值电压变化来检测被测气体的
第章半导体传感器 表91半导体气敏元件的分类 主要物理特性类型 检测气体 气敏元件 表面控制型可燃性气体|SnO、ZnO等的烧结体、溥膜、厚膜 氧化镁,SnO2 电阻型 电阻 酒精 体控制型可燃性气体氧化钛(烧结体) 氧气 T-Fe2 O3 氢气 铂一硫化镉 二极管整流 一氧化碳 铂一氧化钛 非电阻型 特性 表面控制型酒精 金属—一半导体结型二极管) 晶体管特性 氢气、硫化氢铂栅、钯栅MOS场效应管
第9章 半导体传感器 表9-1 半导体气敏元件的分类
第章半导体传感器 气敏传感器是暴露在各种成分的气体中使用的,由于检测现 场温度、湿度的变化很大,又存在大量粉尘和油雾等,所以其工 作条件较恶劣,而且气体对传感元件的材料会产生化学反应物, 附着在元件表面,往往会使其性能变差 对气敏元件有下列要求:能长期稳定工作,重复性好 响应速度快,共存物质产生的影响小等 半导体气敏传感器的应用:主要用于工业上的天然气 煤气,石油化工等部门的易燃、易爆、有毒等有害气 体的监测、预报和自动控制
第9章 半导体传感器 气敏传感器是暴露在各种成分的气体中使用的，由于检测现 场温度、湿度的变化很大，又存在大量粉尘和油雾等，所以其工 作条件较恶劣， 而且气体对传感元件的材料会产生化学反应物， 附着在元件表面，往往会使其性能变差 对气敏元件有下列要求：能长期稳定工作，重复性好， 响应速度快， 共存物质产生的影响小等。 半导体气敏传感器的应用：主要用于工业上的天然气、 煤气，石油化工等部门的易燃、 易爆、有毒等有害气 体的监测、预报和自动控制