养点 可做综合分析： 0 SEM装上波长色散X射线谱仪(WDX)(简称波谱 仪)或能量色散X射线谱仪(EDX)(简称能谱仪) 后，在观察扫描形貌图像的同时，可对试样微区进 行元素分析。 装上半导体样品座附件，可以直接观察晶体管或集 成电路的p-n结及器件失效部位的情况。 0 装上不同类型的试样台和检测器可以直接观察处于 不同环境（加热、冷却、拉伸等）中的试样显微结 构形态的动态变化过程（动态观察）。 11
11 特点 可做综合分析： o SEM装上波长色散X射线谱仪（WDX）（简称波谱 仪）或能量色散X射线谱仪（EDX）（简称能谱仪） 后，在观察扫描形貌图像的同时，可对试样微区进 行元素分析。 o 装上半导体样品座附件，可以直接观察晶体管或集 成电路的p-n结及器件失效部位的情况。 o 装上不同类型的试样台和检测器可以直接观察处于 不同环境（加热、冷却、拉伸等）中的试样显微结 构形态的动态变化过程（动态观察）
第一节扫描电子显微镜工作原理及构造 电子舱灯丝和高压电源 工作原理 光 扫描发生器 放大控制 扫推放大器 直径为1~10nm的电子束 子收巢 音增器 阴极射线管 分 图10-1扫描电子显微镜原理示意图
12 第一节 扫描电子显微镜工作原理及构造 一、工作原理 图10-1扫描电子显微镜原理示意图 直径为1~10nm的电子束
入射电子束 5-10nm 俄歌电子 0.5~2nm 二次电子 背散射电子 特征X射线 连续X射线 背敢射电子 空间分辨率 X射线空间分辨率 图13-6 滴状作用体积 13
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二次电子 (secondary electron) 0 二次电子是指被入射电子轰击出来的核外电子。 0 由于原子核和外层价电子间的结合能很小，因此外层 的电子比较容易和原子脱离。当原子的核外电子从入 射电子获得了大于相应的结合能的能量后，可离开原 子而变成自由电子。 如果这种散射过程发生在比较接近样品表层，那些能 0 量大于材料逸出功的自由电子可从样品表面逸出，变 成真空中的自由电子，即二次电子。 一个能量很高的入射电子射入样品时，可以产生许多 自由电子，而在样品表面上方检测到的二次电子绝大 部分来自价电子。 14
14 二次电子 （secondary electron） o 二次电子是指被入射电子轰击出来的核外电子。 o 由于原子核和外层价电子间的结合能很小，因此外层 的电子比较容易和原子脱离。当原子的核外电子从入 射电子获得了大于相应的结合能的能量后，可离开原 子而变成自由电子。 o 如果这种散射过程发生在比较接近样品表层，那些能 量大于材料逸出功的自由电子可从样品表面逸出，变 成真空中的自由电子，即二次电子。 o 一个能量很高的入射电子射入样品时，可以产生许多 自由电子，而在样品表面上方检测到的二次电子绝大 部分来自价电子
二次电子(secondary electron) 二次电子来自表面50-500A的区域，能量为0-50eV。 它对试样表面状态非常敏感，能有效地显示试样表面的 微观形貌。 0 由于它发自试样表面层，入射电子还没有较多次散射， 因此产生二次电子的面积与入射电子的照射面积没多 大区别。所以二次电子的分辨率较高，一般可达到50 100A。 0扫描电子显微镜的分辨率通常就是二次电子分辨率。二 次电子产额随原子序数的变化不明显，它主要决定于 表面形貌。 15
15 二次电子（secondary electron） o 二次电子来自表面50-500 Å的区域，能量为0-50 eV。 o 它对试样表面状态非常敏感，能有效地显示试样表面的 微观形貌。 o 由于它发自试样表面层，入射电子还没有较多次散射， 因此产生二次电子的面积与入射电子的照射面积没多 大区别。所以二次电子的分辨率较高，一般可达到50- 100 Å。 o 扫描电子显微镜的分辨率通常就是二次电子分辨率。二 次电子产额随原子序数的变化不明显，它主要决定于 表面形貌