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扫描电镜的特点 透射电镜 扫描电镜 优点 缺点 优点 缺点 分辩高0.2nm 样品制备要求很 直接观察大块试样，样品制备非 放大倍数大106 高 常方便。 景深大、放大倍数连续调节范围 大、分辨本领比较高等特点，所 样品被支撑它的 以它成为固体材料样品表面分析 除放大成像外还 铜网蔽住一部 有效工具，尤其适合于观察比较 分，不能进行样 粗糙表面，如材料断口和显微组 能进行结构分析 品欲测区域的连 织三维形态，SEM不仅能做表面 续观察 形貌分析，而且能配置各种附 件，做表面成分分析及表层晶体 学位向分析。 1965年第一台商用扫描电镜问世，扫描电镜的最大特点是景深 大，图像富有立体感，特别适合于表面形貌的研究
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SEMW点 仪器分辨本领较高。二次电子像分辨本领可达 1.0nm(场发射)，3.0nm(钨灯丝)； 0 仪器放大倍数变化范围大（从几倍到几十万倍)， 且连续可调； 0 图像景深大，富有立体感。可直接观察起伏较大的 粗糙表面（如金属和陶瓷的断口等）； 0 试样制备简单。只要将块状或粉末的、导电的或不 导电的试样不加处理或稍加处理，就可直接放到SEM 中进行观察。一般来说，比透射电子显微镜(TEM) 的制样简单，且可使图像更近于试样的真实状态； 10
10 SEM特点 o 仪器分辨本领较高。二次电子像分辨本领可达 1.0nm(场发射),3.0nm(钨灯丝)； o 仪器放大倍数变化范围大（从几倍到几十万倍）， 且连续可调； o 图像景深大，富有立体感。可直接观察起伏较大的 粗糙表面（如金属和陶瓷的断口等）； o 试样制备简单。只要将块状或粉末的、导电的或不 导电的试样不加处理或稍加处理，就可直接放到SEM 中进行观察。一般来说，比透射电子显微镜（TEM） 的制样简单，且可使图像更近于试样的真实状态；