二、构造与主要性能 o扫描电子显微镜由电子光学系统（镜简）、 偏转系统、信号检测放大系统、图像显 示和记录系统、电源系统和真空系统等 部分组成 0主要性能：放大倍数、分辨率和景深 16
16 二、构造与主要性能 o 扫描电子显微镜由电子光学系统(镜筒)、 偏转系统、信号检测放大系统、图像显 示和记录系统、电源系统和真空系统等 部分组成 o 主要性能：放大倍数、分辨率和景深
发叉式灯续 灯丝 加执2器 引出电压 (b) 1.3×10-托 TaB.灯丝 FE,一尖端 (~5k防 第1阳极 ☑发射电.V%(1~30k内 流表 干加速 第2阳极 电压 77n (a) (b 图2-7场发射电子枪 (a)电子枪的结构；(b)FE尖端 17
17 引出电压 加速 电压
1。} 放大倍数 0 当入射电子束作光栅扫描时，若电子束在样品表面扫 描的幅度为Aς，在荧光屏上阴极射线同步扫描的幅度 为Ac,则扫描电子显微镜的放大倍数为： Ac M= A 0 由于扫描电子显微镜的荧光屏尺寸是固定不变的，因 此，放大倍率的变化是通过改变电子束在试样表面的 扫描幅度A来实现的。 0 可从20倍到20万倍连续调节。 18
18 1．放大倍数 o 当入射电子束作光栅扫描时，若电子束在样品表面扫 描的幅度为AS，在荧光屏上阴极射线同步扫描的幅度 为AC，则扫描电子显微镜的放大倍数为： o 由于扫描电子显微镜的荧光屏尺寸是固定不变的，因 此，放大倍率的变化是通过改变电子束在试样表面的 扫描幅度AS来实现的。 o 可从20倍到20万倍连续调节
入射电子束 10um 其样 aTl0e道 图3-31 倍数的定义 10(cm) =10000 10(m) 19
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2. 分辨率 主要影响因素有：①扫描电子束斑直径；②入射电子 束在样品中的扩展效应；③操作方式及其所用的调制 信号；④信号噪音比；⑤杂散磁场；⑥机械振动将引 起束斑漂流等，使分辨率下降。 信号二次电子背散射电子收收电子特红X射线俄歇电子 分辨率5~10 50~200 100~1000 100~10005~10 (nm) 20
20 2. 分辨率 信 号 二次电子 背散射电子 吸收电子 特征X射线 俄歇电子 分辨率 5～10 50～200 100～1000 100～1000 5～10 （nm） 主要影响因素有：①扫描电子束斑直径 ；②入射电子 束在样品中的扩展效应； ③操作方式及其所用的调制 信号；④信号噪音比；⑤杂散磁场；⑥机械振动将引 起束斑漂流等，使分辨率下降