实验二、X射线掠入射角分析薄膜结构
实验二、X射线掠入射角分析薄膜结构
实验目的1.学习并了解X射线衍射的工作原理2.采用掠入射角X射线衍射观测薄膜材料的结构特征的基本原理和方法:3.掌握衍射图谱的基本标定方法
1.学习并了解X射线衍射的工作原理; 2.采用掠入射角X射线衍射观测薄膜材料的结 构特征的基本原理和方法; 3.掌握衍射图谱的基本标定方法
实验仪器本实验所用仪器为RigakuD/max-2500/PC型X射线衍射仪实验所用样品为采用磁控溅射镀膜法制备的标准薄膜样品
实验仪器 本实验所用仪器为Rigaku D/max-2500/PC型X射线衍射仪。 实验所用样品为采用磁控溅射镀膜法制备的标准薄膜样品