基板加热器真空室基板搏膜蒸气流蒸发面、排气系统慕发物质加热器钟图1、真空蒸发镜脱原理图实验仪器及材料1.真空镀膜机1台（罩内装有一对碳棒）。2.透射电子显微镜1台。3.金相试纸，AC纸，胶带，载玻片，铜网，剪刀，镊子，丙酮，磨口杯，蒸发皿，滤纸，蒸馏水
实验仪器及材料 1.真空镀膜机1台（罩内装有一对碳棒）。 2.透射电子显微镜1台。 3.金相试纸，AC纸，胶带，载玻片，铜网，剪刀，镊子，丙 酮，磨口杯，蒸发皿，滤纸，蒸馏水
实验步骤1、在经过侵蚀的金属样品尚滴一滴丙酮（注意不要太多），然后贴上一片稍大于样品预先准备好的AC纸，注意不要留有气泡和褶皱（从试样的一边开始粘贴）。静置片刻以使之干燥。揭开并扔掉AC纸，去掉试样表面的灰尘和锈斑，然后再贴一次AC纸膜，2、用镊子小心地揭开已经干燥的AC纸，剪去两边多余部分后平整地贴在载波片上。3、将载波片放入真空镀膜机中，以300～45角倾斜喷碳镀膜。镀膜过程和实验步骤如下：（1）打开总电源：打开操作面板上的控制开关：(2)打开冷却水，开机械泵抽56min后，给扩散泵加热，待加热30min后，停机械泵（3）将低真空三通阀拉出。开磁力充气阀对钟罩充气，取下钟罩，关磁力充气阀。（4)在蒸发电极的钨丝网内放入金丝或铬粒。在蒸发电极处安放磁棒，摆好样品，调好蒸发距离与角度，盖上钟罩(5)开机械泵，开低真空测量，对镀膜室抽低真空达85Pa左右。（6)将低真空三通阀手柄推入抽系统，开高真空蝶阀，待真空度达1×10-IPa时，开高真空测量；
实验步骤 1、在经过侵蚀的金属样品尚滴一滴丙酮（注意不要太多），然后贴上一片稍大于样 品预先准备好的AC纸，注意不要留有气泡和褶皱（从试样的一边开始粘贴）。静置片刻 以使之干燥。揭开并扔掉AC纸，去掉试样表面的灰尘和锈斑，然后再贴一次AC纸膜。 2、用镊子小心地揭开已经干燥的AC纸，剪去两边多余部分后平整地贴在载波片上。 3、将载波片放入真空镀膜机中，以30o～45o角倾斜喷碳镀膜。 镀膜过程和实验步骤如下： (1)打开总电源．打开操作面板上的控制开关； (2)打开冷却水，开机械泵抽5—6min后，给扩散泵加热，待加热30min后，停机械泵 (3)将低真空三通阀拉出。开磁力充气阀对钟罩充气，取下钟罩，关磁力充气阀。 (4)在蒸发电极I的钨丝网内放入金丝或铬粒。在蒸发电极处安放磁棒，摆好样品，调 好蒸发距离与角度．盖上钟罩。 (5)开机械泵，开低真空测量，对镀膜室抽低真空达8—5Pa左右。 (6)将低真空三通阀手柄推入抽系统，开高真空蝶阀，待真空度达1×10－1Pa时，开高 真空测量；
衬纸片级复型（（纸）玻璃片透明胶纸(a)(b)复台复型内隔借酸甲器石蜡(c)(d)饿子第二级复型样品铜网(e)图2、二级复型制备过程示意图
(7）当真空度达到3×10-3Pa时，将开关3HK拔到蒸发档，蒸发极拨到I，转动调压手轮，逐渐加大电流，重金属发出辉光，随后开始熬发，待蒸发完毕，把旋转调压器手轮归零。（8）把蒸发电极拨到位置，再转动调压手轮，逐渐加大电流至出现辉光放电，碳开始蒸发，当乳白色瓷片未滴油处出现棕色时，喷碳完毕，旋转调压器手轮归零。（9）待样品冷却后，关闭高真空测量和高真空蝶阀，把低真空三通阀手柄拉出，关机械泵，开磁力充气阀充气，关充气阀，取下钟罩取出样品，清洗镀膜室，盖上钟罩。开机械泵抽低真空56min后停机械泵，关闭各电源及总电源。待扩散泵停止加热30min后再关冷却水，全部工作结束。4、从真空镀膜机取出载玻片，把碳膜剪成小于铜网大小的方块，并放入装有丙酮的磨口杯，此时AC纸徐徐溶解掉，碳膜将浮出液面。5、用铜网把漂浮的碳膜捞起来放进蒸馏水中清洗，再用镊子夹住铜网把蒸馏水中的碳膜捞起来放在滤纸上，干燥后放入样品盒中待观察
实验报告要求简述物理气相沉积法制备碳膜的工作原理、特点和主要过程，撰写实验报告思考题1.在实验过程中，如果使用的不是石墨电极而是金属铝或者镍，那么会得到什么样的结果？为什么？2.采用真空蒸镀法制备碳膜或其它薄膜材料，有哪些用途？
实验报告要求 简述物理气相沉积法制备碳膜的工作原理、特点和主要过程，撰写实验报告。 思考题 1.在实验过程中，如果使用的不是石墨电极而是金属铝或者镍，那么会 得到什么样的结果？为什么？ 2.采用真空蒸镀法制备碳膜或其它薄膜材料，有哪些用途？