薄膜光学—典型膜系 化诰O2) 地了宋=nm,21:0m~7 A=2风12.0 钨丝( .220.142践 金属的 0,260.1928 色散 0.800253.39 0.:40813 9880.8742 4360.474,8 0.4920.64550 05460.825 0.6501a07 0.7001557.0 g01.997 0.95175850 4.05.973 6.011.042 8017.05. 10.0踮5.4673 中国科学院长春光学精密机橄与物理研究所
薄 膜 光 学——典型膜系 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 金属的 色散
簿膜光学典型膜系」 金属反射镜 100 At Rii Au 4 Ac 2 06070.9 0.20.30 0.6o81.0 84B678 长() 新镀的几种金属膜的反射曲线 中国科学院长春光学精密机橄与物理硏究所
薄 膜 光 学——典型膜系 金属反射镜 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
簿膜光学典型膜系」 金属膜材料的选择 原则 口先考虑使用波段要求 口反射率要求 口使用环境 口制作成本等 Al、Ag、Au、Pt 中国科学院长春光学精密机橄与物理研究所♂
薄 膜 光 学——典型膜系 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 金属膜材料的选择 原则: ❑ 先考虑使用波段要求 ❑ 反射率要求 ❑ 使用环境 ❑ 制作成本等 Al、Ag、Au、Pt
簿膜光学典型膜系」 金属膜材料的选择 铝:最常用,紫外、可见、红外 银:反射率最高,稳定性差 金:红外常用、稳定 铂、铑:稳定、坚固 中国科学院长春光学精密机橄与物理研究所
薄 膜 光 学——典型膜系 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 金属膜材料的选择 ➢ 铝：最常用，紫外、可见、红外 ➢ 银：反射率最高，稳定性差 ➢ 金：红外常用、稳定 ➢铂、铑：稳定、坚固
簿膜光学典型膜系」 金属膜的制作工艺 □温度、速度、厚度、真空度、蒸发角度 口连接层(内、外反射) 口保护层(透明波段) 中国科学院长春光学精密机橄与物理研究所
薄 膜 光 学——典型膜系 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 金属膜的制作工艺 ❑温度、速度、厚度、真空度、蒸发角度 ❑ 连接层（内、外反射） ❑ 保护层（透明波段）