青做电子 ( backscattering electron)R 背散射电于是指被固体样品中的原子核反弹回来的一部分 入射电子。 其中包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子。 弹性背散射电子是指被样品中原子核反弹回来的散射角大 于90°的那些入射电子,其能量基本上没有变化。 弹性背散射电子的能量为数千到数万电子伏。 非弹性背散射电子是入射电子和核外电子撞击后产生非弹 性散射而造成的,不仅能量变化,方向也发生变化。 如果有些电子经多次散射后仍能反弹出样品表面,这就形 成非弹性背散射电子
一、背散射电子 （backscattering electron） • 背散射电于是指被固体样品中的原子核反弹回来的一部分 入射电子。 • 其中包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子。 • 弹性背散射电子是指被样品中原子核反弹回来的散射角大 于90的那些入射电子，其能量基本上没有变化。 • 弹性背散射电子的能量为数千到数万电子伏。 • 非弹性背散射电子是入射电子和核外电子撞击后产生非弹 性散射而造成的，不仅能量变化，方向也发生变化。 • 如果有些电子经多次散射后仍能反弹出样品表面，这就形 成非弹性背散射电子
青做电子 (backscattering electron) R 非弹性背散射电子的能量分布范围很宽, 从数十电子伏到数千电子伏。 从数量上看,弹性背散射电子远比非弹性 背散射电子所占的份额多。 背散射电子的产生范围在1000A到1m深, 由于背散射电子的产额随原子序数的增加 而增加,所以,利用背散射电子作为成像 信号不仅能分析形貌特征,也可用来显示 原子序数衬度,定性地进行成分分析
一、背散射电子 （backscattering electron） • 非弹性背散射电子的能量分布范围很宽， 从数十电子伏到数千电子伏。 • 从数量上看，弹性背散射电子远比非弹性 背散射电子所占的份额多。 • 背散射电子的产生范围在1000 Å到1 m深， 由于背散射电子的产额随原子序数的增加 而增加，所以，利用背散射电子作为成像 信号不仅能分析形貌特征，也可用来显示 原子序数衬度，定性地进行成分分析
、二次电子 (secondary electron) 次电子是指被入射电子轰击出来的核外电子 由于原子核和外层价电子间的结合能很小,因此 外层的电子比较容易和原子脱离。当原子的核外 电子从入射电子获得了大于相应的结合能的能量 后,可离开原子而变成自由电子。 如果这种散射过程发生在比较接近样品表层,那 些能量尚大于材料逸出功的自由电子可从样品表 面逸出,变成真空中的自由电子,即二次电子。 一个能量很高的入射电子射入样品时,可以产生 许多自由电子,而在样品表面上方检测到的二次 电子绝大部分来自价电子
二、二次电子 （secondary electron） • 二次电子是指被入射电子轰击出来的核外电子。 • 由于原子核和外层价电子间的结合能很小，因此 外层的电子比较容易和原子脱离。当原子的核外 电子从入射电子获得了大于相应的结合能的能量 后，可离开原子而变成自由电子。 • 如果这种散射过程发生在比较接近样品表层，那 些能量尚大于材料逸出功的自由电子可从样品表 面逸出，变成真空中的自由电子，即二次电子。 • 一个能量很高的入射电子射入样品时，可以产生 许多自由电子，而在样品表面上方检测到的二次 电子绝大部分来自价电子
、二次电子 (secondary electron) 二次电子来自表面50-500A的区域,能量为0-50 eV。 它对试样表面状态非常敏感,能有效地显示试样 表面的微观形貌。 由于它发自试样表面层,入射电子还没有较多次 散射,因此产生二次电子的面积与入射电子的照 射面积没多大区别。所以二次电子的分辨率较高, 般可达到50-100A。 扫描电子显微镜的分辨率通常就是二次电子分辨 率。二次电于产额随原于序数的变化不明显,它 主要决定于表面形貌
二、二次电子 （secondary electron） • 二次电子来自表面50-500 Å的区域，能量为0-50 eV。 • 它对试样表面状态非常敏感，能有效地显示试样 表面的微观形貌。 • 由于它发自试样表面层，入射电子还没有较多次 散射，因此产生二次电子的面积与入射电子的照 射面积没多大区别。所以二次电子的分辨率较高， 一般可达到50-100 Å。 • 扫描电子显微镜的分辨率通常就是二次电子分辨 率。二次电于产额随原于序数的变化不明显，它 主要决定于表面形貌
三、吸电子 Absorption electron) 入射电子进入样品后,经多次非弹性散射,能量 损失殆尽(假定样品有足够厚度,没有透射电子 产生),最后被样品吸收。 若在样品和地之间接入一个高灵敏度的电流表, 就可以测得样品对地的信号,这个信号是由吸收 电子提供的。 入射电子束与样品发生作用,若逸出表面的背散 射电子或二次电子数量任一项增加,将会引起吸 收电子相应减少,若把吸收电子信号作为调制图 像的信号,则其衬度与二次电子像和背散射电子 像的反差是互补的
三、吸收电子 （absorption electron） • 入射电子进入样品后，经多次非弹性散射，能量 损失殆尽（假定样品有足够厚度，没有透射电子 产生），最后被样品吸收。 • 若在样品和地之间接入一个高灵敏度的电流表， 就可以测得样品对地的信号，这个信号是由吸收 电子提供的。 • 入射电子束与样品发生作用，若逸出表面的背散 射电子或二次电子数量任一项增加，将会引起吸 收电子相应减少，若把吸收电子信号作为调制图 像的信号，则其衬度与二次电子像和背散射电子 像的反差是互补的