悠片制造半导体工艺实用教程 参考书:半导体制造技术韩郑生等译 Semiconductor manufacturing Technolgy [美] Micheal@ uirk Julian Serda著
芯片制造半导体工艺实用教程 参考书：半导体制造技术 韩郑生 等译 Semiconductor Manufacturing Technolgy [美] Micheal Quirk Julian Serda 著
第一章半导体产业介绍 ·概述 微电子从40年代末的第一只晶体管(Ge合金管) 问世,50年代中期出现了硅平面工艺,此工艺不 仅成为硅晶体管的基本制造工艺,也使得将多个 分立晶体管制造在同在一硅片上的集成电路成为 可能,随着制造工艺水平的不断成熟,使微电子 从单只晶体管发展到今天的USI。 回顾发展历史,微电子技术的发展不外乎包括 两个方面:制造工艺和电路设计,而这两个又是 相互相成,互相促进,共同发展
第一章 半导体产业介绍 • 概述 微电子从40年代末的第一只晶体管（Ge合金管） 问世，50年代中期出现了硅平面工艺，此工艺不 仅成为硅晶体管的基本制造工艺，也使得将多个 分立晶体管制造在同在一硅片上的集成电路成为 可能，随着制造工艺水平的不断成熟， 使微电子 从单只晶体管发展到今天的ULSI。 回顾发展历史，微电子技术的发展不外乎包括 两个方面：制造工艺和电路设计，而这两个又是 相互相成，互相促进，共同发展
1.1半导体工业的诞生 电信号处理工业始于上个世纪初的真空管,真空 管使得收音机、电视机和其他电子产品成为可能 它也是世界上第一台计算机的大脑。 ·真空管的缺点是体积大、功耗大,寿命短。当时 这些问题成为许多科学家寻找真空管替代品的动 力,这个努力在1947年 12月23日得以实现。也 就是第一只Ge合金管的 诞生。如图所示
1.1 半导体工业的诞生 • 电信号处理工业始于上个世纪初的真空管，真空 管使得收音机、电视机和其他电子产品成为可能。 它也是世界上第一台计算机的大脑。 • 真空管的缺点是体积大、功耗大，寿命短。当时 这些问题成为许多科学家寻找真空管替代品的动 力，这个努力在1947年 12月23日得以实现。也 就是第一只Ge合金管的 诞生。如图所示
1.2固态器件 故态器件不仅是指晶体管,还包括电阻器和电容 Ge合金管的缺点是工作温度低,电性能差。 50年代随着硅平面制造工艺的出现,很快就出现 了用硅材料制造的晶体管。 由于硅材料的制造温度(熔点温度1415℃)和硅晶 体管的工作温度都优于锗(熔点温度937℃),加 之SiO的天然生成使得硅晶体管很快取代了Ge晶 体管
1.2 固态器件 • 故态器件不仅是指晶体管，还包括电阻器和电容 器。 • Ge合金管的缺点是工作温度低，电性能差。 • 50年代随着硅平面制造工艺的出现，很快就出现 了用硅材料制造的晶体管。 • 由于硅材料的制造温度(熔点温度1415℃)和硅晶 体管的工作温度都优于锗(熔点温度937℃) ，加 之SiO2的天然生成使得硅晶体管很快取代了Ge晶 体管
1.3集成电路 最早的集成电路仅是几个晶体管、二极管、电 容器、电阻器组成,而且是在锗材料上实现的 是由德州仪器公司的杰克·基尔比发明的。如 图所示。右图是用平面技术制造的晶体管 坪区 输出
1.3 集成电路 • 最早的集成电路仅是几个晶体管、二极管、电 容器、电阻器组成，而且是在锗材料上实现的， 是由德州仪器公司的杰克·基尔比发明的。如 图所示。右图是用平面技术制造的晶体管 坪区 输出 - V + V