11 51超純水生產流程-I 電解連續去離子:如CDI(EDI),不需使用酸、 鹼再生,不需停機,連續運轉 ·紫外線光分解有機物:利用185nm的紫外線光 進行光氧化,釋放OH(離子,打斷T0C碳鍵 而降低T0C含量,其副產物CO2將由其後段的 不再生混床來吸收。 CHOH °H20+C0,→H2CO °H2CO3 H++ HCO CHZOH 公TDK
11 5.1 超純水生産流程 -- II • 電解連續去離子：如CDI(EDI)，不需使用酸、 鹼再生，不需停機，連續運轉。 • 紫外線光分解有機物：利用185nm的紫外線光 進行光氧化，釋放OH （離子，打斷TOC碳鍵， 而降低TOC含量，其副產物CO2將由其後段的 不再生混床來吸收。 • H2O + CO2 H2CO3 • H2CO3 H + + HCO3 -
51超純水生產流程-II Raw Water Multi Media Filter Active Carbon Filter 自來水 Sand Filter砂缸 活性碳缸 含許多雜 去除泥土 去除餘氯 質如礦物 砂石及 (C12)及 質、有機 金屬氧化 嗅味 物、微生 物等 物、淤泥 及氣體 公TDK
12 5.1 超純水生産流程-- III 去除餘氯 (Cl2 )及 嗅味 含許多雜 質如礦物 質、有機 物、微生 物、淤泥 及氣體等 Active Carbon Filter 活性碳 缸 Multi Media Filter / Sand Filter 砂缸 Ｒaw Water 自來水 去除泥土 、砂石及 金屬氧化 物等