6 3. Water General standard 超純水與一般自來水的比較(例子是台北自來水) 自來水 超純水 電阻,M9一CM 0.004 18.2 顆粒(Pcs/m1),≡0.1μm 104~106 顆粒(Pcs/m1),≡0.05μm 顆粒(Pcs/ml),≡0.03μm <5 細菌,con/ml 104~10 <0.0001 總有機碳, ppb as toC 1,0003,000 <1 溶氧, ppb as02 8,000 <1 矽化物, ppb as sio 10,00020,000 <0. 金屬,ppb 200.000 <1 STDK
6 3. Water General Standard 超純水與一般自來水的比較 (例子是台北自來水) 自來水 超純水 電阻, MΩ－CM 0.004 ＞18.2 顆粒(Pcs/ml), ≧ 0.1μm 104~106 － 顆粒(Pcs/ml), ≧ 0.05μm － － 顆粒(Pcs/ml), ≧ 0.03μm － ＜5 細菌, con/ml 104~106 ＜0.0001 總有機碳, ppb as TOC 1,000~3,000 ＜1 溶氧, ppb as O2 8,000 ＜1 矽化物, ppb as SiO2 10,000~20,000 ＜0.1 金屬, ppb 200,000 ＜1
3.1 DI Water Specifications 1 M DRAM 4 M DRAM 16 M DRAM 64M DRAM Line width(p) 0.8-10 0.4-0.6 0.2-0.3 0.1 Resis tivity Mohm @25 C >18.0 >18.0 >18.1 >18.1 TOC(ppb) 10 Particles(no /ml) (O1u) <l0/ml (0.05u)<30ml (0.03u)<l0ml (0.03u)<ml Bacteria(CFU/ml) <5/1000 <5/l000 5/1000 Dissolved Oxygen(ppb) Silica(ppb) <1 Boron(ppb) 0.05 05 Sodium (ppb) 0.05 Potassium(ppb) <0.1 0.05 Zinc(ppb) Iron(ppb) Copper(ppb) 05 0.005 0.005 Chloride(ppb) 0.02 Bromide(ppb) <0.1 0.05 0.02 Nitrate(ppb) 0.05 Sulfate(ppb) Residue (ppb 0.1 0.05 0.05 0.05 (Example from Taiwan Memory Storage manufacture) 公TDK
7 3.1 DI Water Specifications Item 1 M DRAM 4 M DRAM 16 M DRAM 64 M DRAM Line Width (µ) 0.8 - 1.0 0.4 - 0.6 0.2 - 0.3 0.1 Resistivity Mohm @ 25 C >18.0 >18.0 >18.1 >18.1 TOC (ppb) <30 <10 <3 <1 Pacticles (no./ml) (0.1µ) <10/ml (0.05µ) <30/ml (0.03µ) <10/ml (0.03µ) <5/ml Bacteria (CFU/ml) <1/100 <5/1000 <5/1000 <5/1000 Dissolved Oxygen (ppb) <100 <50 <5 <3 Silica (ppb) <5 <3 <1 <0.5 Boron (ppb) <2 0.05 0.05 0.05 Sodium (ppb) <0.1 <0.1 0.05 0.01 Potassium (ppb) <0.1 <0.1 0.05 0.02 Zinc (ppb) <0.05 <0.05 0.02 0.02 Iron (ppb) <0.05 <0.05 0.02 0.02 Copper (ppb) <0.05 <0.05 0.005 0.005 Chloride (ppb) <0.1 0.1 0.02 0.02 Bromide (ppb) <0.1 0.05 0.02 0.02 Nitrate (ppb) <0.1 0.05 0.02 0.02 Sulfate (ppb) <0.2 0.05 0.05 0.05 Residue (ppb) 0.1 0.05 0.05 0.05 (Example from Taiwan Memory Storage manufacture)
4.水中主要的雜質有哪些? 水經由河川、湖泊等各處流過地表,或深處於地底下,因溶 解作用,而含許多雜質如礦物質、有機物、微生物、淤泥及 氣體等。一般水中的雜質可大約分類如下 懸浮固體(SS.):如泥土、砂石及金屬氧化物等 溶解氣體:氣體的溶解與週遭環境如氣壓、溫度、PH等有 一定的關係,一般水中都含有二氧化碳、氧氣、氮氣及其他 氣體。 可溶解之固體(TDS):如Ca. Mg. Na K. Fe hco3.NO3 SO4.SiO2等。 有機物(TOC):所有含碳物質如油脂、污水、溶劑、 果糖、動植物屍體等。 微生物:如各種細菌、黴菌、藻類、熱原及病毒等。 公TDK
8 4. 水中主要的雜質有哪些？ • 水經由河川、湖泊等各處流過地表，或深處於地底下，因溶 解作用，而含許多雜質如礦物質、有機物、微生物、淤泥及 氣體等。一般水中的雜質可大約分類如下： • 懸浮固體(SS.)：如泥土、砂石及金屬氧化物等。 • 溶解氣體：氣體的溶解與週遭環境如氣壓、溫度、PH等有 一定的關係，一般水中都含有二氧化碳、氧氣、氮氣及其他 氣體。 • 可溶解之固體 ( TDS )：如Ca. Mg. Na. K. Fe. HCO3. NO3. SO4. SiO2等。 • 有機物 ( TOC ) ：所有含碳物質如油脂、污水、溶劑、 果糖、動植物屍體等。 • 微生物：如各種細菌、黴菌、藻類、熱原及病毒等
5.在設計規劃系統時考慮的重點: 細何有凖用設舊:開鍵因素,結合累積的經 敌障(茛好的緊急應蔓措施,使造关·運轉零 純水的製造過程,會有廢水排出。如何提高回收率, 節省水源。是系統設計重要的指標 兼顧品質的情況下,降低客戶的操作成本。 系統的擴充性,也是重要因素。在規劃設計的開始, 就應全盤考慮將來擴充的設計量與便利性,才能提高 系統的附加價值,降低成本 不斷追求更好的技術,並結合最新的科技 永遠站在客戶的使用立場來思考問題。 超純水最高電阻理論值為18.18Mohm-cm。 公TDK
9 5. 在設計規劃系統時考慮的重點： • 如何有效運用設備，並掌握關鍵因素，結合累積的經 驗，做最正確的判斷與運用。 • 系統的控制，必需達到操作容易，維修方便，運轉零 故障 (良好的緊急應變措施，使造水不斷)。 • 純水的製造過程，會有廢水排出。如何提高回收率， 節省水源。是系統設計重要的指標。 • 兼顧品質的情況下，降低客戶的操作成本。 • 系統的擴充性 ，也是重要因素。在規劃設計的開始， 就應全盤考慮將來擴充的設計量與便利性 ，才能提高 系統的附加價值，降低成本。 • 不斷追求更好的技術，並結合最新的科技。 • 永遠站在客戶的使用立場來思考問題。 • 超純水最高電阻理論值為18.18Mohm-cm
10 5.1超純水生產流程-I 過濾:如多層過濾、活性碳過濾、一般 濾芯過濾、絕對濾芯過濾等。 ·脫氣:去除餘氯、去除水中嗅味等。 紫外線光滅菌:利用254nm的紫外線光, 來破壞細菌的DNA抑制繁殖,一般而言, 其去除率可達到99.9%以上 加藥處理:加鹼去除水中二氧化碳等 ·逆滲透:採單段或二段式,有效去除離 子、細菌、有機物、膠體等 公TDK
10 5.1 超純水生産流程 -- I • 過濾：如多層過濾、活性 碳過濾、一般 濾芯過濾、絕對濾芯過濾等。 • 脫氣：去除餘氯、去除水中嗅味等。 • 紫外線光滅菌：利用254nm的紫外線光， 來破壞細菌的DNA抑制繁殖，一般而言， 其去除率可達到99.9%以上。 • 加藥處理：加鹼去除水中二氧化碳等。 • 逆滲透：採單段或二段式，有效去除離 子、細菌、有機物、膠體等