半导体0.5mm电极 电极(铂丝) 氧化物半导体 0.6mm 绝缘基片 加热器电极 加热器 m 玻璃(尺寸约1mm, 也有全为半导体的) 烧结型 薄膜型 氧化物半导体 Pt电极 3(单位m 氧化物基片 器件加热用的加热器 (印制厚膜电阻) 厚膜型
厚膜型 烧结型 薄膜型
0 20 30 40 图8-6SnO2气敏电阻温湿特性 10 10 C,Hi 8 8 o cO 6 C3H 眠 C?He 2 C4H10 C3Ha CH H CH 0 200040006000 添加钯 200040006000 气体浓度(ppm) 添加锦。气体放度(m) (a)ZnO添加Pd的灵敏度特性 (b)ZnO添加Pt的灵敏度特性
添加钯 添加铂
添加氧化钍(Tho) 2060ppm M22009m 2510ppm 0.7 10 2790ppm 频率特性 0.6 RM N票 3210ppm 0 振幅特性 2 0 06090120150 2000 2500 3000 时间(s) co浓度(ppm) 豆对CQ浓精测
添加氧化钍（ThO2） 可对CO浓度进行精确测量
3)结构 直热式Sno气敏元件 制作工艺简单、成本低、功耗小,可在高回路 电压下使用,可制成价格低廉的可燃气体泄漏报警 器(国内的QN、MQ型)。 4 1 snO2烧结体 Ir-Pd合金丝 (加热器兼电极) 2 4 2 4 b)
3）结构 直热式SnO2气敏元件 制作工艺简单、成本低、功耗小，可在高回路 电压下使用，可制成价格低廉的可燃气体泄漏报警 器（国内的QN、MQ型）