电子显微分析方法的种类透射电子显微镜(TEM)mTransmission electron microscopym扫描电子显微镜(SEM)mScanning electron microscopem电子探针X射线显微分析仪（EPA或mEPMA)电子激发俄歇电子能谱(XAES或AESm6
6 电子显微分析方法的种类 m 透射电子显微镜(TEM) m Transmission electron microscopy m 扫描电子显微镜(SEM) m Scanning electron microscope m 电子探针X射线显微分析仪 (EPA或 EPMA) m 电子激发俄歇电子能谱(XAES或AES)
透射电子显微镜(TEM)的形式高分辨电镜(HRTEM)透射扫描电镜(STEM)等等。分析型电镜(AEM)n入射电子束（照明束）也有两种主要形式平行束：透射电镜成像及衍射会聚束：扫描透射电镜成像、微分析及微衍射
7 高分辨电镜（HRTEM） 透射扫描电镜（STEM） 分析型电镜（AEM）等等。 n 入射电子束（照明束）也有两种主要形式： 平行束：透射电镜成像及衍射 会聚束：扫描透射电镜成像、微分析及微 衍射。 透射电子显微镜(TEM) 的形式
Basicfeaturesof A ModernTEM电子枪出试样架EDS探测器镜筒扫描像观察装置观察室操作面板照相室扫描像照相机EELS探测器8
8
削面示意图21高压电缆口2一电子枪自2一阳极南大区区照明系统4一束请偏转线心区与学区区口二聚光镜区区聚光镜光8学材料科学8一电感集转线圈9一物镜光闲90卤区1010一物镜消收找围11一物镜1112—选区光闲成像系统120夜风13一第一中间镜13区区14一第二中间镜1415一第三中间镜南大荣龙16一高分辨衍射室17—光学显微镜18—观察窗19荧光屏现系与记20一发片盒永系统2021一收片盒222照相室2科学22O
9
H电子枪室15t/sSIP加速管电子枪60/s加速管SIP证20t/s中间室SIP第三梨米镜阀门1区C聚光镜光衡区测角仪一样品室物镜光阑150/sC样品台+一石SIP物镜C选区光澜+C中间镜阀门2区投影镜0双目光学微镜观察室小荧光屏观察窗口大荧光屏420t/s照相室照相室DP(b)(a)图9.4JEM-2010型透射电子显微镜镜筒结构剖面图（a）与真空系统配置图（b）10
10