2)对应关系 主光栅 亮度 口A 指示光栅 光栅位移 半亮 3w/2 圆 b)理想光栅亮度变化 N图暗 电压 半亮 图图图 光栅位移 3w/2 (a)几何干涉(挡光)原理 (c)光栅输出实际电压波形 图6-6光栅输出原理图
2) 对应关系
2丌 2 Uo=Ua+Um cos(x)=av+Um cos 6,(6=x ①①0①0① g 母丑 日 b 位移x
) cos ) 2 cos( 0 x U U x W U Ua v Um a v m W 2 , ( = + = + =
3)误差的平均效应 光电元件对光栅的栅距误差具有消差作用。 莫尔条纹由光栅的大量刻线形成,对线纹的刻划误差 有平均抵消作用,几条刻线的栅距误差或断裂对莫尔 条纹的位置和形状影响甚微。能在很大程度上消除 短周期误差的影响 例W=0.02mm,接收元件尺寸10×10mm2,在 10mm范围内有500条刻线参与工作,某几条刻线误 差对莫尔条纹位置和形状基本无影响
3） 误差的平均效应 光电元件对光栅的栅距误差具有消差作用。 莫尔条纹由光栅的大量刻线形成, 对线纹的刻划误差 有平均抵消作用, 几条刻线的栅距误差或断裂对莫尔 条纹的位置和形状影响甚微。能在很大程度上消除 短周期误差的影响。 例W=0.02mm, 接收元件尺寸10×10mm2 ,在 10mm范围内有500条刻线参与工作，某几条刻线误 差对莫尔条纹位置和形状基本无影响
2辨向原理及辨向电路 1)为什么要辨向 当可动光栅(主光栅)无论向前或向后移动 时,在一固定点安装的光电元件只能接收 到莫尔条纹明暗交替的变化,后面的数字 电路都将发生同样的计数脉冲,从而无法 辨别光栅移动的方向,也不能正确测量出 有往复移动时位移的大小。因而必须在测 量电路中加入辨向电路
2.辨向原理及辨向电路 1）为什么要辨向 当可动光栅（主光栅）无论向前或向后移动 时，在一固定点安装的光电元件只能接收 到莫尔条纹明暗交替的变化，后面的数字 电路都将发生同样的计数脉冲，从而无法 辨别光栅移动的方向，也不能正确测量出 有往复移动时位移的大小。因而必须在测 量电路中加入辨向电路
2)辨向原理与辨向电路 l BB 裕A b u1-元件1对应的输出 1、2-光电元件3、4-光栅 A-光彻移动方向B-莫尔条纹移动方向 u2-元件2对应的输出
2）辨向原理与辨向电路