《传感器原理及工程应用》课程教材电子教案（PPT教学课件）第5章 电容式传感器

△c_c-co(62-1) Lo 可见,电容的变化与电介质E2的移动量L呈线性关系

0 0 0 0 ( 1) 2 L L c c c c c r − = − =   可见, 电容的变化与电介质εr2的移动量L呈线性关系

52电容式传感器的灵敏度及非线性 由以上分析可知,除变极距型电容传感器外,其它几种形 式传感器的输入量与输出电容量之间的关系均为线性的,故 只讨论变极距型平板电容传感器的灵敏度及非线性 由式(5-3)可知,电容的相对变化量为 △C△d1 △ 当|Ad/d<<1时,则上式可按级数展开,故得 △c△d △d △ [1+

5.2 电容式传感器的灵敏度及非线性 由以上分析可知, 除变极距型电容传感器外, 其它几种形 式传感器的输入量与输出电容量之间的关系均为线性的, 故 只讨论变极距型平板电容传感器的灵敏度及非线性。 由式（5 - 3）可知, 电容的相对变化量为              −  =  0 0 0 1 1 d d d d C C 当 d / d0 1 时，则上式可按级数展开，故得 [1 ...] 3 0 2 0 0 0 0 +          +          +         +    d d d d d d d d c c