等离子体技术的工业应用 1等离子体技术工业应用的特点 同化学的和其它的方法相比: 等离子体具有更高的温度和能量密度 等离子体能够产生活性成分,从而引发在常 规化学反应中不能或难以实现的物理变化和化学 反应。活性成分包括紫外和可见光子、电子、离 子、自由基;高反应性的中性成分,如活性原子, 受激原子态,活性分子碎片,如单体
二 等离子体技术的工业应用 1 等离子体技术工业应用的特点 同化学的和其它的方法相比: 等离子体具有更高的温度和能量密度; 等离子体能够产生活性成分,从而引发在常 规化学反应中不能或难以实现的物理变化和化学 反应。活性成分包括紫外和可见光子、电子、离 子、自由基;高反应性的中性成分,如活性原子, 受激原子态,活性分子碎片,如单体
同其它与之竞争的加工方法相比: 工业等离子体工程提供了更有利的工业加 工方法,包括 更有效和更便宜达到工业相关结果的能力; 能完成其它方法不能完成的任务; 能在不产生大量不需要的副产品的情况下 达到相同目的; 能在产生很少污染和有毒废物的情况下实 现相同目的
同其它与之竞争的加工方法相比: 工业等离子体工程提供了更有利的工业加 工方法,包括 --更有效和更便宜达到工业相关结果的能力; --能完成其它方法不能完成的任务; --能在不产生大量不需要的副产品的情况下 达到相同目的; --能在产生很少污染和有毒废物的情况下实 现相同目的
2等离子体技术的工业应用领域 新材料 光电子 等离子体 航空航天 能源 环境
2 等离子体技术的工业应用领域 等离子体 新材料 航空航天 能源 环境 光电子
功能薄膜材料、纳米材料的制备 5.0 kV X6 输酚少 s um 微波等离子体制备的金刚石 单壁碳纳米管
• 功能薄膜材料、纳米材料的制备 5 µm 微波等离子体制备的金刚石 单壁碳纳米管
微电子领域的加工 13CEN 0.1m 1B,T0P0,35 〔427881K83:”m
• 微电子领域的加工 22 m m 0.1mm