()加热气体到高温 高能粒子间的碰撞导致电离发生 离子 分子 分子 大量的带电粒子形成 笔高子体 电子 加热产生等离子体的效率很低 (2)气体放电 高子 中性分子 大量带电粒子形成等高子体 电子 中性分子 电子
大量的带电粒子形成 等离子体 ＋ - 离子 电子 分子 高能粒子间的碰撞导致电离发生 (1) 加热气体到高温 分子 加热产生等离子体的效率很低 ＋ - ＋ - 电子 - (2) 气体放电 中性分子 离子 电子 中性分子 大量带电粒子形成 等离子体
a)直流放电 直流电源 等离子体 真空泵
(a) 直流放电
(b)射频放电 Pressure: 200 m Torr(20 Pa 基板 Plasma Power:13.56MHz,100-1000W Electron density. 5x1016m-3 T=2-4 eV RF source rF bias 弱电离等离子体 高反应活性
RF bias 基板 RF source Plasma Pressure：200 mTorr (20 Pa) Power：13.56 MHz, 100-1000 W Electron density: 5x10 16 m -3 Te= 2 -4 eV 弱电离等离子体 高反应活性 （b） 射频放电
(c)微波放电 Microwave 2.45 GHz 波导 入0=12c 槽缝天线 表面波 等离子体 石英平板 25 cm 0.3m 表面波等离子体 1 m
(c) 微波放电 0.3 m 1 m 波导 Microwave 槽缝天线 石英平板 2.45 GHz l0=12 cm 25 cm 表面波 等离子体 表面波等离子体
等离子体在宇宙中的存在 Temperature of corona? Hydrogen plasma Is a few million degree c Nuclear fusion Burning Sur 宇宙的999%是等离子
Temperature of corona Is a few million degree C Hydrogen plasma Nuclear fusion 宇宙的99.9% 是等离子体 Burning Sun • 等离子体在宇宙中的存在