31薄膜的附着性能 ④淀积气氛 淀积气氛对薄膜附着力的影响，主要发生在淀积的初期。 这时，在真空室内若有一定量的氧或水蒸气分压，氧与水蒸 气将与淀积原子化合，生成氧化物中间层，从而增强薄膜的 附着。若能增强氧或水蒸气的化学活性，例如使其处于电离 状态，则更能增强薄膜的附着
3.1 薄膜的附着性能 淀积气氛对薄膜附着力的影响，主要发生在淀积的初期。 这时，在真空室内若有一定量的氧或水蒸气分压，氧与水蒸 气将与淀积原子化合，生成氧化物中间层，从而增强薄膜的 附着。若能增强氧或水蒸气的化学活性，例如使其处于电离 状态，则更能增强薄膜的附着。 ④ 淀积气氛
3.1薄膜的附着性能 ⑤后处理过程 含氧气氛后处理： ·继续氧化，增强附着 附着力的时间效应
3.1 薄膜的附着性能 含氧气氛后处理： ⑤ 后处理过程 继续氧化，增强附着 附着力的时间效应
31薄膜的附着性能 。薄膜附着力的测量方法 薄膜附着力测试方法的共同特点是在对薄膜施加载荷的前提下， 测量薄膜脱落时的临界载荷。代表性的测试方法有两大类：（以刮剩法 和(6)拉伸法。 F 划针运动方向 划针 黏结剂 薄膜 薄膜 衬底 衬底 0 b 图3-9测量薄膜附着力的两种方法。(a)刮剥法；(b)拉伸法
3.1 薄膜的附着性能 薄膜附着力测试方法的共同特点是在对薄膜施加载荷的前提下， 测量薄膜脱落时的临界载荷。代表性的测试方法有两大类：(a)刮剥法 和(b)拉伸法。 薄膜附着力的测量方法 图3-9 测量薄膜附着力的两种方法。(a)刮剥法；(b)拉伸法
3.1薄膜的附着性能 (a)刮剥法 刮剥法系将硬度较高的划针垂直置于薄膜表面，施加载荷对薄膜 进行划伤试验的方法来评价薄膜的附着力。 JB/T8554-1997气相沉积薄膜与基体附着力的划痕实验方法的标准 WS-97型自动划痕实验机中科院兰州化学物理所 (b)拉伸法 拉伸法利用黏结或焊接的方法将薄膜结合 于拉伸棒的端面上，测量将薄膜从衬底上拉 伸下来所需载荷的大小。薄膜的附着力等于 拉伸时的临界载荷F与被拉伸的薄膜面积A 之比
3.1 薄膜的附着性能 (a) 刮剥法 刮剥法系将硬度较高的划针垂直置于薄膜表面，施加载荷对薄膜 进行划伤试验的方法来评价薄膜的附着力。 (b) 拉伸法 拉伸法利用黏结或焊接的方法将薄膜结合 于拉伸棒的端面上，测量将薄膜从衬底上拉 伸下来所需载荷的大小。薄膜的附着力等于 拉伸时的临界载荷F与被拉伸的薄膜面积A 之比。 JB/T 8554-1997 气相沉积薄膜与基体附着力的划痕实验方法的标准 WS-97型自动划痕实验机 中科院兰州化学物理所
3.1薄膜的附着性能 (c)超声波法 用超声波的方法造成周围介质发生强力振动，从而在近距离对薄膜产 生破坏效应，根据薄膜发生剥落时的超声波能量水平推断薄膜的附着力。 (d)离心力法 使薄膜与衬底一起进行高速旋转，在离心力的作用下，使薄膜从衬底 上脱开，用旋转的离心力来表征薄膜的附着力。 (e)脉冲激光加热疲劳法 利用薄膜与衬底在脉冲激光作用下周期性的热胀冷缩，使薄膜与衬底 不断弯曲变形，从而引起界面疲劳，造成薄膜脱离，通过单位面积薄膜上 所吸收的激光能量来表征薄膜的附着力
(c) 超声波法 用超声波的方法造成周围介质发生强力振动，从而在近距离对薄膜产 生破坏效应，根据薄膜发生剥落时的超声波能量水平推断薄膜的附着力。 (d) 离心力法 使薄膜与衬底一起进行高速旋转，在离心力的作用下，使薄膜从衬底 上脱开，用旋转的离心力来表征薄膜的附着力。 (e) 脉冲激光加热疲劳法 利用薄膜与衬底在脉冲激光作用下周期性的热胀冷缩，使薄膜与衬底 不断弯曲变形，从而引起界面疲劳，造成薄膜脱离，通过单位面积薄膜上 所吸收的激光能量来表征薄膜的附着力。 3.1 薄膜的附着性能