产生的信号 入射电子束 检测器 二次电子 闪烁体光电倍增管 反射电子 俄歌分光器 俄歇电子 照相胶片 特征X一射线 X一射线分光光器(WD以，EDX) 连续X一射线 光学显微镜 阴极荧光 固体教面 二次电子E<50eV)放出 L=幕l Z=L cos 8,Z=L(cos?0) y反射电子 次激发 (X一射线 E=Ec 荧光激发形 特征连续 后方散乱电子 ↓透过电子 样品电流 X一射线分辨率 Rx 26
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0.144m 样品：懒U) Pw19.】/cm 样品：绍D P=2.71g/cm B:加邀电西为30kV时 电于東的扩散区蚊（因中 364加及0.14m为扩散距离、 8.2m及2.3m为电子束作 用范国的大小)2) 27
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3.景深 ▣指透镜对高低不平的试样各部位能同时聚焦成像的一个 能力范围。 SEM以景深大而著称。取决于分辨本领和电子束入射 角，其景深为： 入射电子束 入射电子束 d do 样品平面1 F= ≈ 样品平面1 样品平面2 tan B 样品平面2 :入射半角 d:电子束直径 8 图6-1G扫描电子显微镜景深与束发散度的关系
28 3. 景深 指透镜对高低不平的试样各部位能同时聚焦成像的一个 能力范围。 SEM以景深大而著称。取决于分辨本领和电子束入射 角，其景深为： 样品上高低不同部位同时聚焦的能力，用距离表示。 5.4.3 景深 0 0 d d F tan = β：入射半角 d0：电子束直径
表10-2扫描电子显微镜景深 景 架 效大倍数 分辨率 场 光学显徽镜 扫描电镜 (OM) (SEM) 1 0.2mm 100 mm 10 0.02mm 10 mm 1~10mm 100 2 gsm 1 mm 0.1 mm 0.1-1mm 1000 02m 0.1mm 1抑 10v100n 10000 20 nm 10m 约1m 100000 2nm 1 gm 29
29 表10-2 扫描电子显微镜景深
(a) (6) 图3-2多孔硅的两种图像比较 ()光学显微镜图像(b)扫描电子显微镜图像 光学显微镜下图象景深很小，只能看清硅柱在某一高度附近的形貌，成 像质量差。 电子扫描显微镜下图象景深很大，多孔硅不同高度下都能看到清晰的 像，分辨率高，能得到完整的多孔硅形貌像。 30
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