二次电子(secondary electron) 二次电子来自表面50-500A的区域，能量为0-50eV。 ▣ 它对试样表面状态非常敏感，能有效地显示试样表面 的微观形貌。 ▣ 由于它发自试样表面层，入射电子还没有较多次散射， 因此产生二次电子的面积与入射电子的照射面积没多 大区别。所以二次电子的分辨率较高，一般可达到50- 100A。 口扫描电子显微镜的分辨率通常就是二次电子分辨率。 二次电子产额随原子序数的变化不明显，它主要决定 于表面形貌。 16
16 二次电子（secondary electron） 二次电子来自表面50-500 Å的区域，能量为0-50 eV。 它对试样表面状态非常敏感，能有效地显示试样表面 的微观形貌。 由于它发自试样表面层，入射电子还没有较多次散射， 因此产生二次电子的面积与入射电子的照射面积没多 大区别。所以二次电子的分辨率较高，一般可达到50- 100 Å。 扫描电子显微镜的分辨率通常就是二次电子分辨率。 二次电子产额随原子序数的变化不明显，它主要决定 于表面形貌
二、构造与主要性能 口扫描电子显微镜由电子光学系统（镜筒）、 偏转系统、信号检测放大系统、图像显 示和记录系统、电源系统和真空系统等 部分组成 口主要性能：放大倍数、分辨率和景深 17
17 二、构造与主要性能 扫描电子显微镜由电子光学系统(镜筒)、 偏转系统、信号检测放大系统、图像显 示和记录系统、电源系统和真空系统等 部分组成 主要性能：放大倍数、分辨率和景深
发叉式灯丝 灯丝 加热器 引出电压 (b) 1.3×10-托 TaB.灯丝 FE,一尖端 V(~5kV) 舌 第1阳极 么发射电.%(1~30k内 流表 加速 第2阳极 电压 (a) (b 图2-7场发射电子枪 (a)电子枪的结构；(b)FE尖端 18
18 引出电压 加速 电压
1,放大倍数 ▣ 当入射电子束作光栅扫描时，若电子束在样品表面扫 描的幅度为A、,在荧光屏上阴极射线同步扫描的幅度 为Ac,则扫描电子显微镜的放大倍数为： M= Ac As ▣由于扫描电子显微镜的荧光屏尺寸是固定不变的，因 此，放大倍率的变化是通过改变电子束在试样表面的 扫描幅度As来实现的。 ▣ 可从20倍到20万倍连续调节。 19
19 1．放大倍数 当入射电子束作光栅扫描时，若电子束在样品表面扫 描的幅度为AS，在荧光屏上阴极射线同步扫描的幅度 为AC，则扫描电子显微镜的放大倍数为： 由于扫描电子显微镜的荧光屏尺寸是固定不变的，因 此，放大倍率的变化是通过改变电子束在试样表面的 扫描幅度AS来实现的。 可从20倍到20万倍连续调节。 C S A M A =
入射电子束 10μm 10m 试样 CRT 图3-31 倍数的定义 M= 10(cm) =10000 10(m) 20
20