忘電子工出版社 1、特点 优点 1.温度稳定性好 (电容值与电极材料无关本身发热极小) 2.结构简单、适应性强 3.动态响应好 4.可以实现非接触测量、具有平均效应
1、特点 优点: 1. 温度稳定性好 （电容值与电极材料无关本身发热极小 ） 2. 结构简单、适应性强 3. 动态响应好 4. 可以实现非接触测量、具有平均效应 返 回 上一页 下一页
忘電子工掌出社 动态响应好 极板间的静电引力很小,需要的作用能量极小 可测极低的压力和力,很小的速度、加速度。可以做 得很灵敏,分辨率非常高,能感受0.01μm甚至更小的 位移 可动部分可以做得很小很薄,即质量很轻 其固有频率很高,动态响应时间短,能在几兆赫的频 率下工作,特别适合动态测量。 介质损耗小,可以用较高频率供电 系统工作频率高。它可用于测量高速变化的参数,如 测量振动、瞬时压力等
动态响应好 ⚫ 极板间的静电引力很小，需要的作用能量极小 可测极低的压力和力，很小的速度、加速度。可以做 得很灵敏，分辨率非常高，能感受0.001m甚至更小的 位移 ⚫ 可动部分可以做得很小很薄，即质量很轻 其固有频率很高，动态响应时间短，能在几兆赫的频 率下工作，特别适合动态测量。 ⚫ 介质损耗小，可以用较高频率供电 系统工作频率高。它可用于测量高速变化的参数，如 测量振动、瞬时压力等。 返 回
忘電子工出版社 缺 ·1、输出阻抗高、负载能力差 传感器的电容量受其电极几何尺寸等限制,一般为几 十到几百皮法,使传感器的输出阻抗很高,尤其当采 用音频范围内的交流电源时,输出阻抗高达106 108Ω2。因此传感器负载能力差,易受外界干扰影响 2、寄生电容影响大 传感器的初始电容量很小,而传感器的引线电缆电容、 测量电路的杂散电容以及传感器极板与其周围导体构 成的电容等“寄生电容”却较大,这一方面降低了传 感器的灵敏度;另一方面这些电容(如电缆电容)常常 是随机变化的,将使传感器工作不稳定,影响测量精 度
缺 点： 1、输出阻抗高、负载能力差 传感器的电容量受其电极几何尺寸等限制，一般为几 十到几百皮法，使传感器的输出阻抗很高，尤其当采 用音频范围内的交流电源时，输出阻抗高达106～ 108。因此传感器负载能力差，易受外界干扰影响 2、寄生电容影响大 传感器的初始电容量很小，而传感器的引线电缆电容、 测量电路的杂散电容以及传感器极板与其周围导体构 成的电容等“寄生电容”却较大，这一方面降低了传 感器的灵敏度；另一方面这些电容(如电缆电容)常常 是随机变化的，将使传感器工作不稳定，影响测量精 度 返 回 上一页 下一页
忘電子工業出社 2.设计要点 低成本、高精度、高分辨率、稳定可靠和高的频率响应 (1)减小环境温度湿度等变化所产生的 影响,保证绝缘材料的绝缘性能 ·(2)消除和减小边缘效应 ·(3)消除和减小寄生电容的影响,防止 和减少外界干扰 (4)尽可能采用差动式电容传感器
2. 设计要点 (1). 减小环境温度湿度等变化所产生的 影响，保证绝缘材料的绝缘性能 (2). 消除和减小边缘效应 (3).消除和减小寄生电容的影响，防止 和减少外界干扰 (4) 尽可能采用差动式电容传感器 返 回 上一页 下一页 低成本、高精度、高分辨率、稳定可靠和高的频率响应
電子工業出版社 (1)减小温度误差、保证高的绝缘性能 ·选材、结构、加工工艺 ·电极:温度系数低的铁镍合金、陶瓷或石英上 喷镀金或银(电极可做得薄,减小边缘效应) 电极支架:选用温度系数小和几何尺寸长期稳 定性好,并具有高绝缘电阻、低吸潮性和高表 面电阻的材料,例如石英、云母、人造宝石及 各种陶瓷等做支架 电介质:空气或云母(介电常数温度系数近为0) 传感器密封,用以防尘、防潮 采用差动结构、测量电路来减小温度等误差 返回 下一页
(1)减小温度误差、保证高的绝缘性能 选材、结构、加工工艺 电极：温度系数低的铁镍合金、陶瓷或石英上 喷镀金或银（电极可做得薄，减小边缘效应） 电极支架：选用温度系数小和几何尺寸长期稳 定性好，并具有高绝缘电阻、低吸潮性和高表 面电阻的材料，例如石英、云母、人造宝石及 各种陶瓷等做支架 电介质 ：空气或云母 （介电常数温度系数近为0） 传感器密封，用以防尘、防潮 采用差动结构、测量电路来减小温度等误差 返 回 上一页 下一页