第2章电子透镜 ·2.1电子透镜概述 2.2电子透镜主要参量和传输矩阵、场分布 ·2.3常用静电透镜简介 ·2.4常用磁透镜简介 2.5电子透镜应用举例 本章的研究方法是:首先从共性人手,介绍“透镜”的主要参 量,其得名大半来自于几何光学,并建立这些量与传输矩阵的关系 和与场分布的近似关系.然后逐一介绍各种透镜,每种都大体上分 为几步:定性分析其聚焦特性:不同程度的定量分析一 可能时给 出尽量准确的解析式;必要的讨论.最后以应用举例收尾
2 第2章 电子透镜 • 2.1 电子透镜概述 • 2.2 电子透镜主要参量和传输矩阵、场分布 • 2.3 常用静电透镜简介 • 2.4 常用磁透镜简介 • 2.5 电子透镜应用举例
实空间 O为理想例子 相空间 Ar co< Q=0,无散焦或者聚焦元件 Q>0,聚焦元件 Q<0,散焦元件
3 实空间 z r A B C D 相空间 r r' A B C D O O O为理想例子 Q=0,无散焦或者聚焦元件 Q>0,聚焦元件 Q<0,散焦元件
现在我们具体分析电子光学的若干典型聚焦元件.本章只分 析轴对称透镜.示意图都是沿z轴的纵剖面(子午面) 2.1电子透镜概述 电子透镜分为静电透镜和磁透镜两种,又皆可按透镜作用范 围(有效场长度与焦距相比)分为短、长透镜:按强度(强者的焦距 短)分,则有强透镜区别于一般透镜 啊 。卤卤 透射电子显微镜 4
4 示意图都是沿z轴的纵剖面(子午面)
静电透镜 本章所谓静电透镜,无非几何形状为旋转对称、中空、按长度 与半径的比分别称为圆筒或膜片(亦可能有介于其间者,或可称为 圆环)的金属导体电极,加上不同的电位,用以形成V≠0的轴上 电位分布.否则,只可能是漂移段(V'=0)或加速段. FIRST ELECTROSTATIC LENS SECOND ELECTRO STATIC LENS SECOND FIRST FOCAL FOCAL POINT POINT SCREEN Ist ANODE 2nd ANODE FOCUSING) (ACCELERATING) FOCUS CONTROL 33NP018 electron-gun. 5
5 electron -gun
聚焦:V">0 散焦:V”<0 轴上 或 或 电位: 轴附近 1 等位面: V>0加速 V<0减速 V">0加速 V0减速 V">0聚焦(E=r/2*V" V">0聚焦 V"<0散焦 V”0散焦 (P(z)·r)'+Q(x)·r=0 速度越慢的电子,聚焦效果越好 6
6 E V e V'>0 加速 V" >0聚焦 (Er=r/2*V") E V V'<0 减速 V" >0聚焦 E V V'<0 减速 V" <0 散焦 V'>0 加速 V" <0 散焦 E V 速度越慢的电子,聚焦效果越好